小型程控蒸發鍍膜儀JKZC-DM1700是一款小型臺式程序控溫蒸發鍍膜儀,可以設定程序,精確控制溫度200℃~1500℃(或者1200℃~1700℃),樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
技術參數:
產品特點:
· φ6英寸的石英腔體,便于清潔和放入樣品
· 安裝有一個2英寸的樣品臺,且樣品臺可旋轉,使所制薄膜更加均勻
· 樣品臺與蒸發源之間的距離可調
· 氣體流量端口和閥門內置可用于腔室凈化和CVD實驗
基本參數:
· 電源:208V-240V,50/60HZ
· 功率:<1.5KW
· 最高加熱溫度:≤1500℃
真空腔室:
· 材質:高純石英
· 尺寸:外徑φ166*內徑φ150*L250mm
· 密封法蘭: 采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封
· 一個快速擋板安裝在法蘭上
· 一個不銹鋼網罩住整個石英腔體
· 真空度:<7.5×10-2 Torr (采用雙極旋片真空泵),<5×10-3 torr (采用渦旋分子泵)