技術參數：
1、Z軸分辨率可達0.078um、 重復精度lum、對焦速度0.5秒。
2、日本精機自動對焦系統，搭配NIKON鼻輪或Navitar電動鏡頭，可全自動繼續自動變換倍率。
3、四軸CNC控制，日本精密線性滑軌和滾珠螺桿，搭配日本三菱伺服電動馬達，全閉回路控制，精度高速度快。
4、高精密花崗巖底座、高強度、耐腐蝕、穩定性好。
龍門式的設計，大幅提高移動速度。
5、鼠標操控CNC功能(如自動燈光調整、自動對焦、自動倍率切換、白動尋邊、自動量測)，大幅提高量測效率。
6、日制SENTECH高分辨率彩色CCD、高清晰度影像效果，擁有高品質的量測畫面、確保量測精準。
搭配S1901功能強大的全自動測量軟件，可自動編程，自動檢測。整機保修十二個月。
產品編號 | MAX-4530P | MAX-6272P | MAX-6090P |
量測行程 (X Y Z) | 450x300x8mm | 620x720x8mm | 600x900x8mm |
載物臺尺寸 | 705x505 | 840x1180 | 850x1430 |
儀器外型尺寸(長x寬x高) | 1186x1275x1854mm | 1460x1400x1600mm | 1736x1585x1780mm |
凈重 | 660kg | 1220kg | 1520kg |
工作臺承重 | 20kg | ||
操作方式 | 鼠標或搖桿(選配) | ||
光源 | 同軸光 | ||
更大移動速度:X、Y | 250mm/sec | ||
更大移動速度:Z | 0.5/sec | ||
放大倍率 | 光學放大:2.5X、5X、10X、20X(選購50X、100X) 影像放大:110X~800X | ||
量測軟件 | SI901CNC多功能影像量測軟件 | ||
量測分辨率 | X、Y:0.5um Z為0.078um | ||
量測精度 | (2+L/100) | (3.5+L/100) | |
重復精度 | X、Y為2um、Z為1um | X、Y為3.5um、Z為1um | |
使用環境 | 溫度:20±5℃ | ||
電腦配備 | 高性能主機+19寸螢幕 | ||
電源要求 | 1～，AC110V~230V ,50/60HZ | ||
