規格參數
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| 型號 | HD-50D | HD-90D | SMU-180D |
| 相機 | 2000萬像素超清工業數字相機 | ||
| 鏡頭 | 雙遠心鏡頭 | ||
| 光源系統 | 遠心平行底光+表面環光+同軸光+升降環光升降環光(0°/45°) | ||
| Z軸移動行程 | 45mm | 55mm | 100mm |
| 載物臺承重 | 15KG | ||
| 視野 | 42×35mm | 90×60mm | 180×130mm |
| 重復性精度 | ±1.5μm | ±2μm | ±5μm |
| 測量精度 | ±3μm | ±5μm | ±8μm |
| 測量軟件 | IVM-2.0 | ||
| 測量模式 | 可同時測量單個或多個樣品 | ||
| 測量速度 | 1-3S/100尺寸 | ||
| 電源 | AC220V/50Hz,200W | ||
| 操作環境 | 溫度: 22℃±3℃ 濕度: 50～70% Vibration: <0.002mm/s, <15Hz | ||
| 重量 | 35KG | 40KG | 100KG |
| 質保 | 12個月 | ||
更多說明
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