4200A-SCS參數分析儀(參數測試儀)加快各類材料、半導體器件和工藝的開發,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業內性能***電學特性參數分析儀,提供同步電流電壓曲線測試 (I-V曲線測試)、電容-電壓曲線測試 (C-V曲線測試) 和超快脈沖 I-V曲線測量。
Tektronix泰克 4200A-SCS 參數分析儀是一種可以量身定制、全面集成 的參數分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能***的參數分析儀, 4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不 扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業知識和數百項隨時 可以投入使用的應用測試,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過程,快速而又滿懷信心。
4200A-SCS 參數分析儀可以根據不同用戶需求進行靈活配 置,不管是現在還是未來,都可以隨時對系統進行升級。通過 4200A-SCS 參數分析儀,通往發現之路現在變得異常簡便。
主要性能指標
I-V 源測量單元(SMU)
- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
- 100 fA測量分辨率
- 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
- 100 μF負載電容
- 四象限操作
- 2 線或 4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
- AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
- ± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源,可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
- 選配 CVIV 多通道開關,在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
- 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
- 200 MSa/s,5 ns 采樣率
- ±40 V (80 V p-p),±800 mA
- 瞬態波形捕獲模式
- 任意波形發生器 Segment ARB? 模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發生器單元(PGU)
- 兩個高速脈沖電壓源通道
- ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
- 任意波形發生器 Segment ARB?模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)
- 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換,無需重新布線或抬起探針
- 把 C-V測量移動到任意端子,無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)
- 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
- 把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安
- 降低電纜電容效應
遠程前端放大器 / 開關模塊 (RPM)
● 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
● 把 4225-PMU 的電流靈敏度擴展到數十皮安
● 降低電纜電容效應
技術優勢:
1、隨時可以投入使用、可以修改的應用測試、項目和器件,縮短測試開發時間
2、內置測量視頻的儀器,測試視頻由應用工程師提供,分為4種語言,縮短學習周期
3、pin to pad接觸檢查,確保測量可靠
4、多種測量功能
5、數據顯示、分析和代數運算功能
6、專家視頻,降低特性分析復雜度,觀看吉時利應用工程師制作的內置視頻,迅速掌握應用,縮短學習周期。數小時的專家測量專業幫助,在發生意想不到的結果或對怎樣設置測試存在疑問時,將為您提供指引。Clarius Software短專家視頻支持四種語言(英語、中文、日語和韓語),可以迅速讓你洞察先機。
7、大量隨時可以使用的應用測試可供選擇,通過Clarius庫中裝備的450多項應用測試,您=可以選擇或修改預先定義的應用測試,加快特性分析速度,或從一開始簡便地創建自定義測試。只需三步,Clarius Software就可以引導新用戶像專家一樣完成參數分析。
8、實時結果和參數,自動數據顯示、算法分析和實時參數提取功能,加快獲得所需信息的速度。不必擔心數據丟失,因為所有歷史數據都會保存下來。
9、無需示波器檢驗脈沖測量,脈沖定時預覽模式可以簡便地查看脈沖定時參數,確認脈沖式I-V測試按希望的方式執行。使用瞬態I-V或波形捕獲模式,進行基于時間的電流或電壓測量,而無需使用外部示波器。
應用方向:
MOSFET, BJT 晶體管;材料特性分析;非易失性存儲設備;電阻率系數和霍爾效應測量;NBTI/PBTI;III-V 族器件;失效分析;納米器件;二極管和 pn 聯結;太陽能電池;傳感器;MEMS器件;電化學;LED和OLED。
型號 | 描述 |
---|---|
4200A-SCS-PKA 高分辨率 IV 套件 | 4200A-SCS:參數分析儀主機 4201-SMU:兩個用于高容量設置的中功率 SMU 4200-PA:一個預放大器 8101-PIV:一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
4200A-SCS-PKB 高分辨率 IV 和 CV 套件 | 4200A-SCS:參數分析儀主機 4201-SMU:兩個用于高容量設置的中功率 SMU 4200-PA:一個預放大器 4215-CVU:一個高分辨率多頻 C-V 單元 8101-PIV:一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
4200A-SCS-PKC 高功率 IV 和 CV 套件 | 4200A-SCS:參數分析儀主機 4201-SMU:兩個用于高容量設置的中功率 SMU 4211-SMU:兩個用于高容量設置的高功率 SMU 4200-PA:兩個預放大器 4215-CVU:一個高分辨率多頻 C-V 單元 8101-PIV:一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件 | 用于使用***硅 CMOS 技術進行的復雜 NBTI 和 PBTI 測量 4200-BTI-A 套件包括:
|