氣體質量流量控制器LF-A010-A011
采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。主板采用多層布線，具有更好的抗干擾能力，良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。測量和控制的量程范圍大，.大滿量程可達30ln/min.耐腐蝕，耐高壓至10MPa.5預熱時間短，零漂小，可靠性高。±1.0%F.S的精度、精度高，線性度好
產品型號 LF-A010C LF-A011M
滿量程范圍 SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比 控制器50:1 流量計100:1
精度 ±1.0%F.S
線性 ±0.5%F.S
重復性 ±0.2%F.S
閥門類型 常閉閥
響應時間 ≤1S
工作壓差 0.1...0.5Mpa
.大耐壓 3MPa
工作環境溫度 5...45℃
泄漏率 1×10-8Pa.m3/s
通信信號 RS232/RS485 MODBUS協議
供電方式 24VDC（250mA）
密封材料 丁晴橡膠 氟橡膠
接頭尺寸 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
電器接頭 DB9針
