在實驗室里以高度自動化實現了同類的測量性能*
CM300xi探針臺可以應對極其復雜環境帶來的測量挑戰,例如隨著時間的推移和在多個溫度下對小Pad進行無人值守測試。在EMI屏蔽,不透光和無濕氣的測試環境中,可實現的測量性能,適用于各種應用。熱管理增強功能和實驗室自動化功能可提高產量并縮短數據處理時間。
CM300xi支持Contact Intelligence™ – 一種的技術,可實現自動半導體測試。創新系統設計與的圖像處理功能的強大組合提供了獨立于操作員的解決方案,可在任何時間和溫度下實現高度可靠的數據測量。
通過材料處理單元,CM300xi探針臺結合了全自動晶圓測試,具有的精度和靈活性。該系統可以處理SEMI標準晶圓盒中提供的多達50片200mm或300mm晶圓。