FlexSEM1000是日立高新公司推出的一款機(jī)型小巧性能優(yōu)異的鎢燈絲電鏡，擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設(shè)計(jì)，配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度導(dǎo)航系統(tǒng)及的自動(dòng)化功能，使性能更加，使用更加簡(jiǎn)便。
特點(diǎn)
1.節(jié)能環(huán)保的設(shè)計(jì)
2.高效率的自動(dòng)功能
3.簡(jiǎn)捷的操作界面
4.高分辨低真空觀(guān)察
技術(shù)參數(shù)
| 分辨率 | 4.0nm（加速電壓20kV，高真空模式，二次電子像） |
| | 15.0nm（加速電壓1kV，高真空模式，二次電子） |
| | 5.0nm（加速電壓20kV，低真空模式，背散射電子像） |
| 放大倍率 | 底片倍率：6 – 300,000x |
| | 顯示器倍率：16 – 800,000x |
| 加速電壓 | 0.3-20kV |
| 低真空可變壓力范圍 | 6-100Pa |
| 馬達(dá)臺(tái) | 標(biāo)配三軸自動(dòng)馬達(dá) |
| 行程 | X： 0-40mm |
| Y： 0-50mm | |
| R： 360 ° | |
| Z： 5-15mm | |
| T： -15- 90° | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍?zhuān)侯A(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)：二次電子探測(cè)器；高靈敏度背散射探測(cè)器 |
| 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)閥門(mén)控制抽真空系統(tǒng)/渦輪分子泵：61L/S 1臺(tái) |
| 機(jī)械泵：100L/min 1臺(tái) | |
| 安全裝置：帶停電、漏電保護(hù)的真空保護(hù)功能 | |
| 操作輔助功能 | 電子束旋轉(zhuǎn)；動(dòng)態(tài)聚焦；畫(huà)質(zhì)優(yōu)化功能 |
| 數(shù)據(jù)輸入；2點(diǎn)間測(cè)量、角度測(cè)量、文字；預(yù)設(shè)倍率； | |
| 樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP)；電子束標(biāo)記 |
