潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
工作溫度360℃和500℃。
采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。
標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
安全性
門檢測開關
溫度過升防止器
氧濃度異常安全裝置
氮氣壓力檢測
氮氣流量檢測
冷卻水流量檢測
漏水傳感器
過電流漏電漏電保護開關
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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