壓力不敏感型高性能質量流量控制器D500

zui*的壓力不敏感型高性能質量流量控制器D500高穩定性質量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質量流量模塊

特征：

• 壓力不敏感性

高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應系統

• 多量程,多氣體,多種壓力的解決方案

新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內的流量,供應壓力范圍

• G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節流方程)

*G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監測,通常會在三秒內提高生產能力

• 高精度

*的三維調節已改進工藝氣體的流量精度

• 快速響應

響應速度＜0.8秒
已實現精準且穩定的流量控制

• 動態范圍

所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。