
♦ 光學(xué)元件角度、側(cè)垂,平行度的測(cè)量;
♦ 裝配定位及監(jiān)測(cè):
晶元封裝定位;
透鏡偏移和傾斜監(jiān)測(cè);
多個(gè)光學(xué)平面裝配平行度測(cè)量
♦ 振動(dòng)或旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)
電子馬達(dá)移動(dòng)或旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性的檢測(cè)
主要技術(shù)指標(biāo): | 設(shè)備主件: | |
激光波長(zhǎng) | 紅光(或藍(lán)綠光) | •激光自準(zhǔn)直儀 •測(cè)量軟件(可測(cè)量多個(gè)成像點(diǎn)) •二維調(diào)節(jié)臺(tái) •測(cè)量臺(tái)座和立桿 •LD光源驅(qū)動(dòng)器 |
測(cè)量范圍 | ±1° | |
分辨率 | 0.1" | |
測(cè)量精度 | ≤5" | |
可選光闌孔徑 | Φ1,2,3,4,6mm | |
可測(cè)距離 | 0~300mm |