技術參數：
| 型號 | Vertex251HM/HC | Vertex251UM/UC | Vertex311HM/HC | Vertex311UM/UC |
| XY 精度 | Uxy=2.0+L/200 | Uxy=1.8+L/200 | Uxy=2.6+L/200 | Uxy=2.0+L/200 |
| Z 精度 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 |
| XY 重現性 | 2.0μm | 1.8μm | 2.6μm | 2.0μm |
| Z 重現性 | 2.0μm | 2.0μm | 2.0μm | 2.0μm |
| XY 加速度 | 500mm/S2 | |||
| Z 加速度 | 200mm/S2 | |||
| XY 移動速度 | 250mm/s | |||
| Z 移動速度 | 100mm/s | |||
| 光學尺分辨率 | 0.1μm | |||
| 量測行程 | 250x160x160mm | 315x315x160mm | ||
| 外形尺寸 | 606x800x775mm | 720x1085x1030mm | ||
| 重量 | 120kg | 150kg | ||
| 承載重量 | 10kg | 12kg | ||
| 基座材質 | 鋁合金 | |||
| 傳動方式 | Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z | |||
| 電控系統 | 伺服系統: CNC, 鼠標,搖桿 | |||
| 光學系統&放大倍率 | 6.5:1光學Zoom,20-390x | 12:1光學Zoom,15-540x | 6.5:1光學Zoom,20-390x | 12:1光學Zoom,15-540x |
| 影像&光源 | 紅光LED (黑白系統)或白光 LED(彩色系統) | |||
| 軟件 | InSpec for Windows Metrology Software | |||
| 工作環境 | 20℃±2°,30-80% 濕度 | |||
| 備注 | Vertex311系列可選擇加高型,Z軸250mm | |||
