工作原理
在光學系統調整過程中，如果PSM物鏡的焦點精確定位在球面鏡的曲率中心，則反射光會在探測器的中心位置聚焦成一個縮小的點。否則，反射光將不能聚焦或者成中心對稱像。此時，通過 PSM 軟件可得到反射光形成的光斑大小和偏離的距離，為進一步調整提供指導。
性能參數
◆ 高分辨率 CCD，數字成像
◆ 高精度光學裝調定位
◆ 光學檢測和成像分析
◆ 可作自準直及角度測量
產品應用
◆ 用于研究小樣品或者大目標。
◆ 可以用作三坐標測量機或x-y-z 位移臺上星點法檢測成像系統；能量百分比數據分布在一個圓形區域內，在離軸鏡校準過程中，可以看到像差的逐漸減小。
◆ 在沒有物鏡的情況下，使用自準直方法。
◆ 借助于三坐標測量儀或者簡易的調整夾具，可以快速裝調復雜的光學系統。
◆ 快速檢查光學系統的裝調定位情況。
◆ 對于光學平臺或者導軌上的被測件，可測量其表面的曲率半徑。
◆ 光學表面與機械基準面的校準定位，例如定位球、測孔規等。
