產品特性
◆ 以納米級分辨率，3D測量復雜表面與自由曲面光學器件的度量工具
◆ 在所有三個方向上的測量不確定度均低至50 nm（1D）
◆ 與同類三坐標測量機相比，測量范圍顯著增加到400 x 400 x 100 mm
◆ 將參考光學表面轉化為機械參考的能力
◆ 可追溯的測量
◆ 多探針儀器，通過運動型探針支架實現
◆ 所有導軌均帶有多孔介質空氣軸承，可實現平穩、無摩擦的運動，是3D掃描測量的理想之選
應用范圍
◆ 大口徑光學元件面形測量
◆ 幾何形貌測量
◆ 自由曲面光學點陣測量
◆ 陣列小工件測量
◆ ( 超) 半球的面形測量
◆ 非球面鏡和模型的掃描測量
性能參數
| 測量系統 | |||
激光干涉測量分辨率 （X, Y 與Z） | 1.6 nm | ||
| 1D 測量不確定度 （如：單方向一維測量） | X 軸 | Y 軸 | Z 軸 |
| 52nm | 49nm | 57nm | |
| 2D 測量不確定度 （如：二維輪廓測量） | XZ 軸 | YZ 軸 | XY 軸 |
| 72nm | 70nm | 71nm | |
| 3D 測量不確定度 （如：三維自由曲面測量） | 109nm | ||
| 測量范圍（XYZ） | 400mmX400mmX100mm | ||
