熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
直接測量氣體的質量，不需要溫度、壓力補償的氣體流量測量儀表，它代表了氣體流量測量的發展趨勢。熱式氣體質量流量計傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，采用橋式環路，一個傳感器測量流體溫度，另一個傳感器為加熱元件，維持高于流體溫度的恒溫差，即氣體流過加熱元件時將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質量有關，由此測量流量。
熱式氣體質量流量計由一體式流量轉換器、流量傳感器組成。按流量傳感器的型式分為：插入式和管段式熱式氣體質量流量計。
熱式氣體質量流量計應用1、氧氣、氮氣、氫氣、氯氣及多組分氣體測量。（乙炔氣體除外）。2、高爐煤氣、焦爐煤氣測量。 3、煙道氣測量。4、沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測量。5、壓縮空氣測量。6、天然氣、液化氣、火炬氣等氣體流量測量。7、電廠高爐的一次風、二次風流量測量。8、礦井下通風或排風系統流量測量。
熱式氣體質量流量計特點:
1、測量氣體質量流量，無需溫度、壓力補償。
2、量程比大，測量流速范圍：0.1Nm/s～100Nm/s。
3、無壓力損失，適用已知截面積的任意形狀管道。
4、耐腐蝕型傳感器，適合測量腐蝕性氣體。
5、全量程段的算法，特別適合大口徑測量保證了測量的準確度，適于貿易結算。
6、可以出色的完成工藝管道的檢漏及設備工作。
7、施工量小，由于采用插入式結構，可以在線安裝和維護。
8、儀表可以就地顯示和帶報警控制。
管段式熱式氣體質量流量計技術參數：
| 性能 | 技術參數 |
| 測量介質 | 各種氣體（乙炔氣除外） |
| 管徑范圍 | DN10mm～2000mm |
| 流速范圍 | 0.1Nm/s～100Nm/s(標況條件20℃，101.33KPa) |
| 準確度 | ±1% |
| 介質溫度 | 常溫：-20～+100℃ 高溫：-20～+350℃ |
| 工作壓力 | 4.0MPa |
| 供電電源 | 一體式轉換器AC220V或DC24V1A;分體式轉換器：AC220V |
| 響應速度 | 1秒 |
| 輸出信號 | 4～20mA RS485 |
| 測量顯示 | 質量流量、標況體積流量、累計流量、時間、累計運行時間 |
| 報 警 | 1-2路繼電器結點：5A/AC220V、5A/DC30V自設定 |
| 傳感器材質 | 1Cr18Ni9Ti、哈氏合金、鈦、316L、鋁、304不銹鋼 |
| 探桿材質 | 1Cr18Ni9Ti、316L、304不銹鋼 |
熱式氣體質量流量計選型：
（1）介質溫度。熱式氣體質量流量計基于熱擴散原理設計而成，流量計的探針是根據被測介質溫度來決定探針加熱溫度的，一般探針加熱溫度比介質溫度高50度。由此可以看出，流量計在正常測量時要求被測介質溫度較為恒定，此時加熱電流與介質流量成比例關系；
（2）介質成分。熱式氣體質量流量計幾乎可測量所有單一氣體介質（乙炔除外），但是在實際測量中有不少混合氣體需要測量，此時選用熱式氣體質量流量計時，就對混合氣體有要求。所有氣體流量儀表標定時均用空氣來作為被測介質，單一介質時可查得出標準的轉換系數。然而混合氣體需要根據現場時間被測介質成分百分比來折算轉換系數，但是當測量時介質成分發生變化，則會增大流量計測量誤差；
（3）壓力。熱式氣體質量流量計不建議在高壓工況環境下使用。熱式測量的重要的一點就是介質的攜熱量，當現場的壓力過高時，單位體積內介質的攜熱量很大，在壓縮系統與反應速率的雙重影響下，使得流量計的測量值將會小于實際使用時，因此建議熱式氣體質量流量計在4.0Mpa以內使用。
（4）高溫。測量高溫介質意味著傳感器的耐溫更高，同時測量高溫介質時整機電路耗電功率增大，現階段熱式氣體質量流量計可耐高溫至400度，可滿足絕大多數現場要求。
熱式氣體質量流量計安裝要求及注意事項
（1）熱式氣體質量流量計安裝直管段要求：
①流量計安裝在帶90°彎頭管道下游，儀表上游至少20D，下游至少5D；
②流量計上游帶T型管端，流量計上游至少40D，下游至少5D；
③流量計上游有同心擴管，儀表上游至少25D，下游至少5D；
④流量計安裝在縮頸管后，流量計上游至少15D，下游至少5D；
⑤流量計上游安裝有泵和閥，流量計上游至少50D，下游至少5D。
（2）熱式氣體質量流量計安裝注意事項
①流體流向必須與傳感器表體上的流向箭頭保持一致；
②傳感器兩邊的法蘭必須保持平行，否則容易泄漏；
③流量計的電極輸線必須近似水平，否則影響測量精度；
④傳感器測量管在使用中被測介質必須保持滿管狀態；
⑥盡量避開鐵磁性物體及具有強電磁場的設備，如大型電極、大變壓器等，以避免外界磁場影響傳感器的工作磁場和流量信號；
⑦安裝環境要求：避免環境溫度高于60℃及相對濕度大于95%；
⑧為避免在安裝后形成漩渦流動，應保證工藝配管、密封件、流量計同軸連接不能錯開；
⑨選擇活動空間較大的管段安裝，便于后期的維修；
⑩調節閥應安裝在傳感器的下游5D以外處，若必須安裝，需安裝在傳感器上游，并保證傳感器上游直管段不小于50D；
