產(chǎn)品詳情
GD-HS10半導體工廠氣體檢測儀是一款專門用于檢測半導體工廠中可燃、有毒、有害氣體濃度的儀器，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點。電磁泵吸式吸氣，進氣管長度可達30米，氣管接頭采用快插接頭，操作施工方便。支持行業(yè)內(nèi)如氨氣、、氯氣、硅烷等四十多種氣體的檢測，適用于半導體晶圓、液晶面板及光伏面板制造等行業(yè)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1.泵壽命長，流量恒定
電磁泵吸原理，相對電機式機械磨損小
流量監(jiān)控，PID控制算法
2.配件替換簡單，便于維護
卡扣式前蓋，手動開合
傳感器模組、泵模塊化設(shè)計
3.通信方式豐富
標配4~20mA
可選485總線、消防總線或Ethernet
4.氣體檢測精度高
溫度補償
零點自動校準
5.大屏顯示，內(nèi)容豐富
LCD點陣屏，可顯示任意字符
支持中英文切換
6.支持多種氣體檢測
支持電化學、催化、光學等原理傳感器
可搭配熱裂解器實現(xiàn)NF3氣體檢測
7.參數(shù)可配，使用靈活
零點抑制、零點跟蹤可配置
報警閾值及延時，報警屏蔽可配置
8.報警聯(lián)動，輸出控制
內(nèi)置ALM1、ALM2、故障3個繼電器
主要應用
適用于半導體制造、液晶面板制造、光伏制造和電池制造等行業(yè)。是一款高精度、 高靈敏度的氣體檢測儀， 能夠準確地檢測和監(jiān)測工廠中的有毒氣體、 、 腐蝕性氣體等。
技術(shù)指標
| 檢測氣體 | 支持多達百種氣體（不斷擴充中…） | 氣體報警指示 | ALM1指示燈亮紅色/ALM2指示燈亮紅色，屏幕指示ALARM1/ALARM2 |
| 檢測原理 | 電化學、催化、光學 | 氣體報警動作 | 自動復位，記錄觸發(fā)和復位記錄 |
| 采樣方式 | 泵吸 | 氣體報警控制 | ALM1/ALM2繼電器動作，常開常閉可配置 |
| 流量 | 默認0.5L/min±10%，可調(diào) | 故障報警類型 | 流量故障/傳感器故障/通信故障 |
| 工作方式 | 連續(xù)監(jiān)測 | 故障報警指示 | 故障指示燈亮黃色 |
| 響應時間T90 | 電化學 ＜ 60s，催化 ＜ 30s | 故障報警動作 | 自動復位，記錄觸發(fā)和復位記錄 |
| 示值誤差 | 不同氣體不同，詳見具體傳感器參數(shù) | 故障報警控制 | 故障繼電器動作，常開常閉可配置 |
| 檢測量程 | 不同氣體不同，詳見具體傳感器參數(shù) | 檢測儀功能 | 報警延時/零點抑制/零點跟蹤/靈敏度補償/實時流量/零點平移/跨度標定/標定記錄/報警記錄/事件記錄/ |
| 分辨率 | 不同氣體不同，詳見具體傳感器參數(shù) | 可擴展熱裂解 | 是 |
| 氣體單位 | 不同氣體不同，詳見具體傳感器參數(shù) | 輸出信號 | 4-20mA/以太網(wǎng) |
| 濃度顯示 | LCD點陣屏，分辨率200 x 140 | 安裝方式 | 壁掛 |
| 傳感器模組接口 | 數(shù)字接口 | 電源 | DC24V/POE |
| 指示燈 | 4顆（電源指示燈綠色、ALM1指示燈紅色、ALM2指示燈紅色、故障指示燈黃色） | 功耗 | 小于3.5W |
| 繼電器輸出控制 | 3路（ALM1報警、ALM2報警、故障） | 重量 | 約 750g |
| 繼電器容量 | AC125V、0.25A/DC24V、0.5A | …… | …… |
