高穩定倍光路型激光干涉傳感器

●應用東京精密的要素技術之一的光纖激光干涉測長系統，開發出分辨率0.31nm的高穩定倍光路型激光干涉傳感器并搭載在產品上。
●動態量程與分辨率之比高達42,000,000 ：1，一次跟蹤即可評價大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細表面形狀，是一款劃時代的產品。

在驅動部搭載線性馬達 已取得

●憑借線性馬達驅動，實現了高精度·高速移動。
●電子低振動化穩定，可以實現高倍率測定。

只需一次測量即可進行粗糙度和輪廓的分析

●可在保持高精度的同時提高測量效率。

大量程

●橫向200mm，縱向13mm，測量范圍大。
●可±45°自動控制驅動部傾斜
（SURFCOM CREST-T型號）

外觀圖

規格

※1 ：標配測針DM84145 使用時
※2 ：0.03 mm/s, 高斯濾波:λc=0.08 mm,λs=2.5 μm
※3 ：±45 度開口角, 0.3 mm/s, 最小二乘圓計算,高斯濾波 ：λs=0.08 mm
※4 ：±45 度開口角, 0.3 mm/s, 包含標準器的不確定性
※5 ：0.3 mm/s, 包含標準器的不確定性
※6 ：單側斜面的分析長度5 mm 以上, 0.3 mm/s, 包含標準器的不確定性