個參教中兩個固定，一個可變，使得電容式傳感器有三種基本類型: 變極距型電容傳感器、變面積型電容傳感器和變介電常數(shù)型電容傳感器。電容式傳感器的測量電格就是將電容式傳感器看成一個電容并轉(zhuǎn)換成電壓或其他電量的電路，因此，常用的測量電路主要有橋式電路、調(diào)領(lǐng)電路、膠沖完度 制電路、運算放大器電路、二極管雙工形交流電橋和環(huán)行二楊管充放電法等,調(diào)電路實際是把電容式傳感器作為振蕩器諧振回路的一部分 當(dāng)輸入量號致電容量發(fā)生變化時，據(jù)蕩器的振蕩斷戀就發(fā)生有化。雖然可將頻率作為測量系統(tǒng)的輸出量，用以判斷被測非電量的大小，但此時系統(tǒng)是非線性的，不易校正，因此必須加入鑒頻器，將頻率的變化轉(zhuǎn)換為電壓振幅的變化，經(jīng)過放大就可以用儀器指示或記錄儀記錄下來。

周頻電容傳感器測量電路具有較高的靈敏度，可以測量高至 0.01um 級位移變化量，信號的輸出頻率易于用數(shù)字儀器測量，并與計算機(jī)通信，抗干擾能力強(qiáng)，可以發(fā)送、接收以達(dá)到遙測遙控的目的。

因此，在實際應(yīng)用中，常采用差動式結(jié)構(gòu)，既使靈敏度提高1倍，又使非線性誤差大大降低，抗干擾能力增強(qiáng)。