產品特色
● 準確。流量校準具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/200th的各種氣體，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。
● 高效。只要您打開62Q系列便攜式高壓氣體質量流量計，便能顯示您所選工藝設備中的實時流量、壓力和溫度讀數。
● 耐用。62Q系列便攜式高壓氣體質量流量計專為方便攜帶而設計，而且能夠抵抗墜落帶來的影響。
應用及案例
● 環境監測-大氣站運維
● 大學/研究所
● 泄漏檢測
● 燃料電池
● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
精度升級
量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取值）
測量范圍 0.1 ~ 99%滿量程
重復性 ± 0.1%滿量程
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數/ ℃溫差
± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM（）
測量范圍 2～99%滿量程
顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± 2 % 滿量程 精度升級見上段
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復 性 ± 0.2%滿量程
質量流量溫度漂移 0.02%滿量程當溫度從25 ℃起每變化1 ℃
質量流量壓力漂移 ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar
響應時間 優于10 ms
預熱時間 < 1="">
標定工況 25℃ & 1 Atm（可現場在測量范圍內隨意更改）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選低溫選項）
溫度精度 ± 0.75℃
充電溫度 0 ～ 45 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 2MPa表壓，進出口允許瞬時壓差500 KPa
操作壓力 80 KPa絕壓
壓力精度 ±0.5%讀數（讀數＞1 Atm），或±0.07 PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@19200波特率
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸出信號 Micro-USB B（40 Hz at 19200 baud）
供電電壓 5 VDC （Micro - USB - B）
電氣接口 Micro-USB-B
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
續航時間 黑白屏 18小時，彩屏 5小時
材 質 303 & 302 不銹鋼， Viton®，硅橡膠，增強型玻璃，熱固性環氧樹脂，鋁，硅，金，玻璃。（可選主體鋁材質）
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
選項配件
（需另行訂購）
● 過程端口接頭和過濾器
● 電源
● 通訊線纜和轉換線纜
● BB3和BB9多點式集線盒
● Flow Vision軟件
包裝清單
● 62Q系列便攜式高壓氣體質量流量計（已充滿電）
● 微型USB充電線纜和AC壁裝式適配接頭
● NIST可溯源校準證書
● 艾里卡特操作說明書
尺寸壓損
滿量程質量流量計 | 滿量程壓損1（PSID） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 連接接口2 |
10 SCCM - 50 SCCM | 1.0 | 5.7''H ×2.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）內螺紋 （Buna-N表面密封至1/8''NPT內螺紋） |
100 SCCM - 20 SLPM | 1.0 | 1/8''NPT內螺紋 | |
50 SLPM | 2.0 | 6.0''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/4''NPT內螺紋 |
100 SLPM | 2.5 | ||
250 SLPM | 2.1 | 6.6''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/2''NPT內螺紋 |
500 SLPM | 4.0 | 3/4''NPT內螺紋 2000 SLPM可選配1-1/4''NPT內螺紋 | |
1000 SLPM | 6.0 | ||
2000 SLPM | 5.0 | 6.9''H ×5.2''W ×2.9''D | |
3000 SLPM | 7.1 | 6.9''H ×5.2''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT內螺紋 |
1、見公制圖紙； 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。 | |||
產品大圖
型號列表
見“尺寸壓損”。
氣體編碼
* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。
