氣體名稱 | 分子式 | 20/20™氣室,1 秒鐘檢測時間下的檢測值 |
氨氣 Ammonia | NH3 | 0.5ppm |
二氧化碳Carbon Dioxide | CO2 | 0.2ppm |
一氧化碳Carbon Monoxide | CO | 1.2ppm |
甲醛 Formaldehyde | H2CO | 0.6ppm |
Hydrogen Chloride | HCl | 1.5ppm |
氟化氫 Hydrofluoric Acid | HF | 0.5ppm |
甲烷 Methane | CH4 | 0.6ppm |
二氧化氮Nitrogen Dioxide | NO2 | 0.4ppm |
一氧化氮Nitric Oxide | NO | 3.6ppm |
三氟化氮Nitrogen Trifluoride | NF3 | 0.5ppm |
四氟化硅Silicon Tetrafluoride | SiF4 | 0.15ppm |
二氧化硫Sulfur Dioxide | SO2 | 0.6ppm |
四氟化碳Tetrafluoromethane | CF4 | 40ppb |
二甲苯 Xylenes | C8H10 | 1.0ppm |