EST-L5HR-L主動隔振裝置KURAKA倉敷化工
主動隔振裝置LH型，EST-L5HR-L，EST-L5HR-M，EST-L5HR-H，EST-L6HF-L，EST-L6HF-M，EST-L6HF-H，EST-L6HKP-200L，EST-L6HKP-200M，EST-L6HKP-200H，EST-L8HKP-200，AMB，EST-A6，EST-A8，EST-A11，EST-B11
EST-L5HR-L主動隔振裝置KURAKA倉敷化工
EST-L5HR-L主動隔振裝置KURAKA倉敷化工
主動隔振裝置LH型，EST-L5HR-L，EST-L5HR-M，EST-L5HR-H，EST-L6HF-L，EST-L6HF-M，EST-L6HF-H，EST-L6HKP-200L，EST-L6HKP-200M，EST-L6HKP-200H，EST-L8HKP-200，AMB，EST-A6，EST-A8，EST-A11，EST-B11，EST-B11W，EST-B14，BST-B14W，EST-B14WLI，EST-B14W2LI
產(chǎn)品介紹
主動隔振裝置LH型
控制方法，優(yōu)異的隔振、阻尼性能直線電機型可減少空氣消耗并提供出色的隔振性能。
可以控制高達高頻范圍。內(nèi)置萬向節(jié)活塞提供出色的隔振性能。
性能/特點
圓頂萬向節(jié)活塞和螺旋彈簧的混合結(jié)構(gòu)。
實現(xiàn)了占地面積小。
適合高重心設備。
主動隔振裝置【直線電機控制】LHKP型
支持半導體制造設備和檢查設備的生產(chǎn)率提高主動隔振臺有兩種流行的類型：直線電機控制型和氣動控制型。
減振線性主動隔振臺追求兩全其美。
性能/特點
它幾乎不消耗空氣。
它還可以與小型壓縮機一起使用。
使用高推力直線電機作為執(zhí)行器。
LH型具有優(yōu)異的隔振性能，現(xiàn)在可用于減振目的。
配備MFF（運動前饋控制）。
通過預先輸入平臺運動信息，可以提高減振性能。
主動隔振裝置[氣動控制]B型
支持高負載并提供高減振性能主動控制提供出色的減振性能。
通過安裝機制實現(xiàn)了較小的占地面積。
性能/特點
高負載用、振動抑制型
通過在多級結(jié)構(gòu)中布置垂直空氣彈簧，實現(xiàn)了較小的占地面積。
此外，通過盡可能減小空氣彈簧的氣室，提高了減振性能。
