熱式氣體質量流量計又稱羅茨氣體流量計，是基于熱擴散原理而設計的，該儀表采用恒溫差法對氣體進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、高效、穩定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。
工作原理：
熱式氣體質量流量計是利用恒溫差原理測量氣體流量的儀表。傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一個傳感器不間斷地測量介質溫度 T1；另一個傳感器自加熱到高于介質溫度T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT=T2-T1，T2>T1，當有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將 T2 的熱量帶走，使 T2 的溫度下降，若要使 ΔT 保持不變，就要提高 T2 的供電電流，氣體流動速度熱快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數關系。由于傳感器溫度比介質(環境)溫度總是自動恒定高出 30℃左右，所以熱式氣體流量計從原理上不需要溫度補償。
