本裝置是在溫度環境下，設定加載電壓，對多通道漏電流進行高速測量的裝置。
1) 加載電壓有兩種模式：300V和1000V
2) 標配1臺控制單元最多可測試100通道(ch)，1臺電腦最多可控制4臺控制單元，即可擴展到400通道(ch)。
3) 可設定溫濕度箱的溫度和濕度
4) 系統最多可搭配4臺溫濕度箱
5) 擁有溫度補正功能 (溫濕度箱的顯示溫度偏差修正)
6) 用Ethernet I/F和PC連接，實現高速通信。
Ø 系統構成
1) PC（控制用電腦：Windows10）
2) SMU板（10ch/板）1個測試單元，可配置10塊板。
3) 環境試驗箱（可使用現有設備或配套購置）
4) 測試單元：最多可配置10塊板
5) 測量單元的電源：100V～240V（50Hz或60Hz）
l 測試單元
測試板
| 板名稱 | 加載電壓 | 測試電流 量程 | 電阻測試范圍 | 測試通道ch數 (每塊板) | 試驗條件設定 |
| 300V板 | 1.0 ～ 300V | 1.00000mA 10.0000uA 100.000nA | 300Ω～300TΩ | 10ch | 1ch/電源。 每塊板可單獨設定 |
| 1000V板 | 1.0V ～1000.0V | 1.00000mA 10.0000uA 100.000nA | 100Ω～1000TΩ | 10ch | 1ch/電源。 每塊板可單獨設定 |
規格
| 設備名稱 | 絕緣電阻測試系統 | ||
| 型號 | IRM | ||
| 板名稱 | 300V板 獨立電源板 | 1000V板 獨立電源板 | |
| 電阻測試范圍 | 300Ω～300TΩ | 1000Ω～1000TΩ | |
| 測試通道數 | 10ch/板 (最多100ch/測試單元) | 10ch/板 (最多100ch/測試單元) | |
| 連接電纜 | １根/式/板(中繼線) 加載測試電纜×1 | 2根/式/板(中繼線) 加載電纜×1、測試電纜×1 | |
| 電壓 加載部 | 電壓范圍 | 1.0～300.0V | 1.0～1000.0V |
| 分辨率 | 0.1V | ||
| 精度 | ±0.3%/FS | ±0.3%+0.5V/FS | |
| 輸出功率 | 400μW/ch | 1000μW/ch | |
| 組 | 1組(10ch/板) | ||
| 量程 | 1量程 | ||
| 通道數 | 10ch | ||
| 負載容量 | 3300pF/ch | ||
| 電壓 監視器 | 量程 | 1量程 | |
| 范圍 | 0.0～300.0V | 0.0～1000.0V | |
| 分辨率 | 0.1V | ||
| 精度 | ±0.3%/FS | ±0.3%+0.5V/FS | |
| 分配單位 | 1ch | ||
| 周期 | 20msec/10ch | ||
| 通道數 | 10ch | ||
| 電流 測試 | 范圍 | 1000μA ～ 10nA 10μA ～100pA 100nA ～ 1pA | |
| 量程 | 自動量程 | ||
| 最小分辨率 | 10nA 100pA 1pA | ||
| 精度 | ±0.3% /FS | ||
| 通道數 | 10ch | ||
| 最小采集周期 | 定期60sec | ||
| 測試周期 | 20msec(與通道數無關) | ||
Ø 板的種類-----獨立電源板
被測樣品單個加載電壓的測試板。
優點：當某個樣品發生短路，電流超，不會影響到相鄰的樣品，測試將繼續。
Ø 加載電壓
l 加載電壓一定
加載電壓和定期收錄加載電壓相同時（加載到樣品上的電壓一定時），如下圖所示，只有在最初的加載電壓時才會產生等待時間，在穩定時間結束前不進行測量。
l 定期收錄時的試驗電壓
加載、定期收錄、特定收錄的加載穩定時間的設定，只有在加載電壓變化時有效。例如，如下圖所示，在加載電壓和定期收錄的加載電壓值不同的情況下（加載到樣品上的電壓發生變化的情況下），當加載電壓發生變化時，在穩定時間結束之前不進行測量。
Ø 故障
樹珊是指在電極之間產生的金屬離子的生長狀態下，將基板表面從陰極朝向陽極，樹枝狀金屬成分析出的狀態。隨著時間的推移，樹珊逐漸生長，電極之間流動的電流逐漸增大，最終在陽極和陰極之間（+，-電極）接觸，變成短路狀態，但是短路的地方由于碳化現象絕緣性變大，流動的電流非常少。
這種現象被稱為離子遷移，在恒溫恒濕狀態下，在加載電壓的條件下，記錄最初發生到形成這
種現象的時間。
利用樣品的數量N來分析該現象，可進行壽命預測。
因此，為了提高壽命預測的精度，需要多取樣品數N。
Ø 軟件
界面
