氪氣分析用氦離子色譜儀電子工業氣體檢測
氪氣分析用氦離子色譜儀電子工業氣體檢測
氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用普瑞公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，不同底氣的樣品的進樣量。
氪分析用氦離子色譜儀參考：GB/T 5829-2006 氪氣
項目 | 指標 | |||
高純氪 | 純氪 | |||
一等品 | 合格品 | |||
氪氣（Kr）（體積分數）/10-2 | ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
氮（N2）（體積分數）（N2）/10-6 | ≤ | 2 | 8 | 20 |
氧（O2）+氬（Ar）（體積分數）/10-6 | ≤ | 1.5 | 5 | 5 |
氫（H2）（體積分數）/10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
一氧化碳（CO）（體積分數）/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.4 | 1 |
二氧化碳（CO2）（體積分數）/10-6 | ≤ | 0.4 | 0.8 | 1 |
甲烷（CH4）（體積分數）/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.8 | 1 |
水分（H2O）（體積分數）/10-6 | ≤ | 2 | 3 | 5 |
氙氣（Xe）（體積分數）/10-6 | ≤ | 2 | 20 | 50 |
氟化物（CF4）（體積分數）/10-6 | ≤ | 1 | 10 | 15 |
儀器特點
1.采用多柱箱分離，維護方便、性能穩定。
2. 快速啟動：開機一小時內可以進樣分析
3. 快速關機：分析完成即可關機，無需長時間等待降溫。
4.節約載氣：待機狀態下可以節約95％載氣用量。
