AALBORG質量流量控制器GFC

AALBORG質量流量控制器GFC，產品概要

GFC 低成本鋁或不銹鋼熱式質量流量控制器

設計特點

± 1% FS 精度為標準

剛性金屬結構

可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm

壓力 1000 psig (70 bar)

泄漏完整性 1 x 10 -9 sccs 氦氣

NIST 可追溯認證

內置可傾斜 LCD 讀數（某些型號）

本地或遠程設定點控制

0-5 Vdc 和 4-20 mA 信號

電路保護

累加器選項

GFC 質量流量控制器

GFC 型熱式質量流量控制器旨在指示和控制氣體的設定流量。

GFC 將傳統質量流量裝置的特性和精度結合到一個的緊湊型設計中，并且成本低，這是以前無法實現的。這些控制器中的每一個都包含一個的“U”形管傳感器，以及用于非腐蝕性氣體的鋁和黃銅或用于腐蝕性應用的 316 不銹鋼制成的流道元件?？梢詮淖兯推魍獠窟M行零位和跨度調整。

操作原理

計量氣體分為兩條層流路徑，一條通過主流管道，另一條通過毛細管傳感器管。兩個流道都設計為確保層流，因此它們的流速比是恒定的。

傳感器管上的兩個精密溫度傳感繞組被加熱，當流動發生時，氣體將熱量從上游帶到下游繞組。產生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。

惠斯通電橋設計用于監測傳感器繞組上與溫度相關的電阻梯度，該電阻梯度與瞬時流量成線性比例。

產生 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的輸出信號，指示計量氣體的基于質量分子的流速。

The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環控制電路連續監測質量流量輸出并將其保持在設定流量。

在規定的限制范圍內，流速不受溫度和壓力變化的影響。

一般說明

緊湊、獨立的 GFC 質量流量控制器旨在指示和控制氣體的流速。堅固的設計與儀表級精度相結合，提供了多功能且經濟的流量控制方式。提供帶有工程單位（標準）或 0 至 99% 顯示的讀數選項的鋁或不銹鋼型號。

內置電磁閥允許在特定型號的范圍內將流量設置為任何所需的流量。作為安全功能，閥門通常處于關閉狀態，以確保在斷電的情況下關閉氣流。設定點在本地或遠程控制。

內置于傳感器頂部的 LCD 讀數可傾斜 90 度以上，以提供的閱讀舒適度。它通過標準的模塊化插頭連接到傳感器，并且可以輕松拆卸以進行遠程讀取安裝。為 OEM 應用提供不帶 LCD 讀數的傳感器。

GFC 質量流量控制器的流量范圍為 10 sccm 至 1000 sL/min N2。氣體通過 1/4”、3/8” 或可選的 1/8” 壓縮接頭和 3/4” FNPT 接頭連接?？蛇x配件可供選擇。這些控制器可用作臺式裝置或通過螺釘安裝在底座上。

傳感器電源端口有保險絲和極性保護。

泄漏完整性

1 x 10 -9 smL/sec 的氦氣至外部環境。