MT-400AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據(jù)半導體客戶研發(fā)的一款高精度測量設備。使測量物體精確的對準樣品邊緣是至關(guān)重要的，本設備采用新進的光學設計，保證了高質(zhì)量的邊緣檢測和顯微檢測。在直線校準中，采用夾線和叉線進行觀測，比單純使用一個直線進行觀測所獲得的結(jié)果更為精確。在主機設計方面，我們致力于增強它與操作人員之間的親和性以及操作的舒適性。此外，我們還采用了抗疲勞設計，操作人員即使長時間使用，也不會感到疲勞和不適。新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能，可提供更銳利的圖案。可在Z軸測量期間提供精確對焦，由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降至。兩側(cè)均配備了同軸粗/微調(diào)手輪，以速度實現(xiàn)對焦，儀器內(nèi)置高精度光柵尺，可進行精確的3軸測量。
特征及優(yōu)勢
■ 配置完善，測量精準
■ 平臺可快速移動，方便大尺寸產(chǎn)品測量
■ 符合人體設計的光學觀察
■ 測量數(shù)值實時顯示
■ 主機臺快速測量，電腦端同步展示
■ 便捷強大的測量分析軟件
■ 可選配晶圓臺
■ 校準和線性檢測
■ 包含獨立儀器桌、臺式電腦、鍵盤、鼠標和 22英寸的顯示器
■ 標準尺
儀 器 型 號 | MT-300AH | MT-400AH | MT-500AH | ||||
工 作 臺 | 鑄鐵臺尺寸(mm) | 356×266 | 487×367 | 606×476 | |||
玻璃臺尺寸(mm) | 260×160 | 345×245 | 445×345 | ||||
運動行程(mm) | 200(X)×150(Y) | 300(X)×200(Y) | 400(X)×300(Y) | ||||
調(diào)焦行程(mm) | 100 | 100 | 150 | ||||
放大倍數(shù)與攝像系統(tǒng) | 500萬像素工業(yè)相機，可拍照可測量 | ||||||
物鏡5X，10X，20X，50X （100選配） 目鏡：10X/20 | |||||||
X軸/Y軸顯示精度：0.0001mm Z軸顯示精度：0.0001MM | |||||||
總放大倍數(shù)50X-500X | |||||||
示值誤差 | X.Y≤(2.5+L/200)um | Z≤(3.5+L/50)um(L為被測長度單位:mm) | |||||
照明系統(tǒng) | LED環(huán)形表面光+底部平行光 | ||||||
外形尺寸(mm) (長×寬×高) | 600×550×780 | 760×580×820 | 970×750×1000 | ||||
承重 | 20kg | 20kg | 25kg | ||||
儀器重量（kg） | 150kg | 170kg | 200kg | ||||
儀器電源 | 220V（AC） 50HZ | ||||||
由于微觀結(jié)構(gòu)檢測趨于細微化，不僅要滿足觀察和測量這一生產(chǎn)和質(zhì)量管理原則，而且測量顯微鏡同時對其精度要求也越來越高
人體工程設計
在顯微鏡主機設計方面，我們致力于增強它與操作人員之間的親和力以及操作的舒適性。其儀器設計十分便于操作。此外，它還采用了抗體疲勞設計，操作人員及時長時間使用，也不會感到疲勞和不適。
輔助對焦
新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能，可提供更銳利的圖案。可在Z軸測量期間提供精確對焦，由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降至。
