SURFCOM 5000DX表面粗糙度儀 商品介紹
達到世界高水準的0.3nm分辨率
● 檢測器採用高穩定雙光路型He-Ne雷射干涉儀。
● 在大範圍下仍具備高分辨率。
傳動部配備線性馬達（已取得）
● 透過線性馬達傳動，達成高精確度、高速移動。
● 降低振動量，高倍率下亦可穩定測量。
測量1次便可分析粗度及輪廓
可在保持高精確度的前提下，提升測量效率。
在維持精確度的前提下成功達到大型化
安裝完設備本體後亦可加裝CNC工作臺
高穩定雙光路型雷射干涉感測器
● 配備全新開發、運用東京精密公司的重要技術「光纖雷射干涉測距系統」、分辨率可達0.3nm的高穩定雙光路型雷射干涉感測器。
● 動態範圍及分辨率比為43 333 000：1 ，只要掃描一次便可評估大範圍的輪廓形狀及該形狀中所隱藏的細微表面形狀。
大範圍、自動測量
● 掃描工件後會偵測工件的傾斜度，並讓傳動部自動執行水平校正動作，讓工件和傳動部平行。
● 測量範圍大，橫向為200mm、縱向為13mm
● 能以±45° 自動控制傳動部的傾斜度
● 可透過教導、重現功能，自動處理自開始測量起至列印為止的連續流程。
*傳動部位傾斜裝置為SURFCOM 5000DX-T、SD-T型的標準配備。
商品參數
| 測量范圍（mm） | Z軸（縱向） | 13mm/50mm測臂、臂26mm/100mm測臂 | |
| X軸（橫向） | 200mm | ||
| 精度 | Z軸指示精度（縱向） | ±(0.2+2 H /100) mm （±0.206μｍ/ H±6ｍｍ） | |
| 測量分辨率 | 0.31ｎｍ/50ｍｍ測臂 | ||
| X軸指示精度（橫向） | ±0.2＋L/1000μｍ （±0.4μｍ/L200ｍｍ） | ||
| 測量分辨率 | 0.54nm | ||
| 直線度精度 | 0.05＋3L/10000μｍ （0.11μｍ/L200ｍｍ） | ||
| 測量方式 | Z軸（縱向）高穩定倍光路型激光干涉計 | ||
| X軸（橫向）反光分析光尺 | |||
| 粗糙度處理功能 參數或計算類型 | JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO 標準Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku. Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM, SR,SAR | ||
| 評價曲線 | 剖面曲線、粗糙度曲線、濾波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線 波紋度曲線、KIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)波紋度中心曲線(Motif)、包絡波紋度曲線 表面特性圖表負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分曲線 | ||
| 傾斜補償 | 直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵曲線補償（直線、R面、兩端補償可 以在任意范圍內） | ||
| CUTOFF值 | 0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9級）任意（0.001-50mm） | ||
| 縱倍率 | 50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍 | ||
| 橫倍率 | 0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍 | ||
| 輪廓度處理功能 參數或計算類型 | 點、直線、部分圓、橢圓、在點、小點、距離、坐標著、極坐標差、直交/極坐標差顯示、交叉 要素（點-直線、直線-下線、圓-直線、圓-圓、圓-橢圓）、對稱要素（點-點、點-圓、點-橢圓、直 線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓?-橢圓）、面積計算、Overpin計算、尺寸線顯示功能、計算結果與 設計值比對、鏡面反轉、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點的重復功能、工件軌跡功 能、峰值谷值搜尋功能、自動操作記錄.回放功能、形狀設計值比對、佳似合功能、設計值生成、 | ||
| IGES/DXF轉換 | 基準設定原點設定、X軸設定、平行移動、回轉移動 | ||
| 小測量間距 | 0.0005~1mm | ||
| 大測量點數 | 大150,000點 | ||
| 縱倍率 | 0．01～10,000,000倍（任意、自動） | ||
| 橫倍率 | 0．01～10,000,000倍（任意、自動） | ||
| 驅動速度 | 上下移動速度（Z軸） | 0~200mm/s | |
| 測量速度（X軸） | 0.03~3mm/s（粗糙度測量時） 0.02~20mm/s（輪廓度測量時） | ||
| 移動速度（X軸） | 0.02~60mm/s | ||
| 上下驅動范圍 | 500mm | ||
| 驅動部交換式 | 0.75mN、2mmR半徑、金剛石 | ||
| 驅動部交換式 | 0.75mN、2mmR半徑、金剛石 | ||
訂購指南
| 定貨號 | 產品名稱 |
| MM-02426-00 | S5000DX表面粗糙度測量機 |
| MM-02426-90 | DM48588通用測針 |
| MM-02426-91 | DM48515深槽用測針 |
| MM-02426-92 | DM48514極小孔用測針 |
| MM-02426-93 | DM48513小孔用測針 |
| MM-02426-94 | DM48511光角度用測針 |
| MM-02426-95 | DM48510上下測量用測針 |
| MM-02426-96 | DM48509輪廓用高剛性測針 |
| MM-02426-97 | DM48508輪廓用高剛性測針 |
| MM-02426-98 | DM48507通用高剛性測針 |
| MM-02426-99 | DM48505通用測針 |
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東京精密簡介
東京精密，英文名：ACCRETECH，ACCRETECH－其發音為a-krei-tek，是英文ACCRETE（融合，共同成長）和TECHNOLOGY（科技，技術）的復合詞，意味著集合各方面的技術，智慧，人才，資源創造世界的產品。東京精密，作為一家精密測量設備及半導體制造設備公司，從1949年創立至今，一直都致力于滿足客戶需求的高生產性能產品開發與客戶支持服務。
東京精密大事記
1949年，東京精密成立。
1994年，東京精密成立北京辦事處；成立中國服務中心（北京）；東京精密開始在中國銷售測量儀器；與合作提供技術服務。
1996年，東京精密上海辦事處成立，加強對上海周邊客戶的服務。
1999年，東京精密深圳辦事處成立，加強珠三角地區的服務
2002年，東京精密中國法人公司——東精精密設備（上海）有限公司成立，設立保稅庫，可以進行人民幣業務結算。東精精密設備(上海)有限公司作為日本東京精密在中國的業務紐帶，負責東京精密生產的所有產品在中國的銷售及服務工作。
2003年，成立重慶辦事處，加強中國西南地區的服務。
2009年，泰亞賽福與東京精密再次簽約，成為東京精密在中國地區的代理商。
認證證書
