應用案例
* 零膨脹材料的研制
* 負極負熱膨脹材料的研制
* 標準材料開發
* 致動器材料的開發
用途
* 10-9/K級極低膨脹系數材料（玻璃，陶瓷，金屬等）的高精度熱膨脹測量
* 半導體生產裝置光學曝光元件的測量
* 測量精密載物臺零件
* 航空航天相關高精度所需材料的測量
* 高精度光圖基板構件的測量
* 低膨脹系數材料的質量控制
* 標準熱膨脹儀校準樣品的測量
特點
* 通過在設備中包括振動消除機構，可以防止振動擾動的影響，并且可以在能夠穩定使用普通電子天平（0.01毫克分辨率）進行分析的環境中進行測量。（日本：2016-058190、058191、058192）
* 測量樣品相對于激光波長（632.8 nm）的位移量。集成光學元件可以消除雜散光，提高干涉條紋信號的 信噪比。不需要特殊位移校準的測量和操作。
* 通過用圖像傳感器檢測干涉條紋并對其進行圖像處理，即使在樣品測量過程中，也可以以高分辨率（1納 米）計算位移（膨脹/收縮）量，并確認膨脹系數。
* 符合JIS R3251-1990標準
設備參數
應用實例
