Pura Plus在線微量濕度異動變送器
Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業對于設備尺寸和指標的新需求變化而特殊設計的。 Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應末端， 用來監測純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統分布復雜，涉及到很多分支、節點和使用點。 因此在常規的濕度監測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統設計、元件故障或過程出錯等等原因導致濕氣滲入， 影響下游使用。而安裝在分布系統中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示，在 20 ppb 濕氣級別下 1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。
技術指標
響應速度 <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應時間 濕度量程 1 ppb to 20000 ppm 壓力范圍 0 to 10 bar 耐壓等級 300 bar 泄漏測試 0-9 mbar l/s 工作流量范圍 1 ~ 10 l/min 工作溫度 5 ~ 40°C 存儲溫度 30 ~ 70°C 電源 20 ~ 28 V DC 功耗 5 W 大 外部保險絲等級 500 mA 快熔型 數據輸出 Modbus ASCII 兩線 RS485 警告和報警輸出 2 路 大電壓 40 V DC 大電流 100 mA 氣體接觸的材質 外殼材質 不銹鋼 AISI 316L 內表面電拋光 <10 Ra 傳感器結構 氧化鋁電解質 上層鍍金保護 下層鋁層 內部容積 4.4cm3 重量 450g 氣路接口 1/4" m VCR 電氣接口 9 - 針 D - 型 m 接口 電磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2
