VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直共振腔表面放射激光)技術目前在在人臉識別、3D感測、汽車自動駕駛、手勢偵測和VR(虛擬現實)/AR(增強現實)/MR(混合現實等應用領域越來越受到關注,萊森光學®可以為客戶提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF檢測解決方案:LIV光譜/功率積分測試、NF近場特性測試、FF遠場特性測試、BRDF/BTDF光學材料AR/VR特性測試、VCSEL專用積分球,實現對VCSEL單體、模組、及晶圓芯片的能量分布和均勻性測量、光譜波長及功率測量、近場遠場測量等各種定制化應用需求。
LS-VCS-SCI-LIV精密溫控型LIV光譜功率積分測試系統由萊森光學專門針對基于3D-SENSING 脈沖激光LIV光譜測試研發而成,特別適合晶圓和模組封裝用戶在實驗室對VCSEL/LD的研發使用,用于驗證VCSEL/LD各個工藝過程中的光電特性。實現對VCSEL/LD單體、模組、及芯片的LIV、EIV、TIE、PCE、光譜波長及功率測量等。
LS-VCS-SCI-LIV精密溫控型多功能光譜功率積分測試系統專門針對基于3D-SENSING 脈沖激光、脈沖LD/LED測試研發而成,該系統可用于對VCSEL、LD/LED光電特性檢測,以保證VCSEL、LD/LED脈沖激光輻射光譜滿足器件光學功能和IEC-60825-2激光安全-人眼安全應用需求。
主要功能特點
● 強大的專用軟件分析功能,可以掃描測量LIV曲線,PCE曲線,溫度-峰值波長-光功率曲線,可設置掃描精度和速度,可測量光電轉換效率,自動保存測試數據
● 高精度光學分辨率光譜儀光譜范圍400-1100nm可選,光譜分辨率0.1nm,實現光譜峰值波長和半高全寬(FWHM)測量,可實現2kHz采樣速率,可掃描測量溫度-峰值波長-功率曲線等
● 手動或全自動探針平臺,可實現對晶圓或模組的自動化LIV光譜功率測試
● 可對樣品精確控溫,可設置掃描步長,可實現高速同步觸發,可預設/自定義測量
● 多線程聯用(大功率高精度電流源、高精度高速數字萬用表、多通道同步數字萬用表、功率探頭、光譜儀、溫度控制器等),可以實現光譜、功率、電流、溫度等參數的程序化、自動化掃描測量
● 一體化工控機箱,高分辨液晶顯示,自動化集成化操作軟件
● 采用四線測量方法,實時記錄實測電流、電壓值,功率值,測試更準確
● 程序可設置連續及脈沖掃描兩種模式
● 壽命老化檢測功能:在恒定或脈沖條件下(電流、溫度),每隔時間間隔測試記錄一次光譜和功率數據
LIV測試軟件界面
VCSEL光譜隨電流的變化
LIV、I-V、I-L 掃描曲線
溫度、峰值波長、光功率掃描曲線
主要技術指標
型號 | LS-VCS-SCI-LIV |
波長范圍 | 300~1700nm(可選) |
光學功率 | 0~50W |
光譜分辨率 | 0.1nm(800~1000nm) |
光電轉換效率 | 0~99% |
積分球 | 2吋/4吋/6吋 |
工作電壓 | 0~35V,3A@6V |
工作電流 | DC電流:±100pA~±3.03A;脈沖電流:0~±10A |
閾值電流 | Yes |
斜率效率 | Yes |
電阻(內阻) | Yes |
PD暗電流 | 1pA~100nA |
PD光電流 | 0~100mA |
光功率-PD電流曲線 | LIV特性曲線 |
QCW / CW | 直流可調/PWM可調 |
脈沖時間 | 3A@6V,最小脈寬0.15ms |
探針臺 | 選配 |
占空比 | 0~99% |
控溫范圍 | 5℃~85℃@精度±1℃ |
尺寸/重量 | 37cm×52cm×41cm,25kg |