皮拉尼傳感器:
PCG550采用了皮拉尼(或譯為派藍尼)熱傳導式真空計原理。在這種技術中,一個加熱元件(通常為電阻絲)維持在一個恒定的溫度差上,通過測量其與周圍環境氣體之間的熱能交換來確定氣體壓力。氣體壓力越低,其熱導率越低,電阻絲需要消耗更多的能量以維持設定的溫差,因此,通過監測加熱元件的功率消耗(或等效的電信號),即可推算出相應的真空度。
皮拉尼傳感器適用于中低真空范圍,如從大氣壓至約10^-3 mbar(或1 Torr)的壓力區間。
電容膜片傳感器:
同時,PCG550還配備了INFICON陶瓷電容膜片傳感器(CDG技術)。這種傳感器利用薄膜材料在不同真空環境下產生的微小形變來改變電容值,從而實現對高真空度的精確測量。
電容膜片傳感器具有良好的線性度、長期穩定性以及對多種氣體類型的廣泛適用性,尤其適用于高真空低真空范圍,例如從約10-3 mbar至低于10-9 mbar的壓力區間。
優勢與特點:
寬量程覆蓋:由于結合了皮拉尼和電容膜片兩種傳感器,PCG550能夠在單一設備內實現寬廣的真空度測量范圍,從接近大氣壓直高真空,無需更換或外接其他儀器,大大簡化了真空系統的配置和操作。
氣體類型無關性:電容膜片傳感器獨立于氣體類型,對不同氣體混合物具有良好的通用性,無需進行特定氣體的校準,適應于多種工業應用和科研環境。
高精度與穩定性:INFICON的皮拉尼和電容膜片技術均以其高精度和長期穩定性著稱,確保了PCG550在各種工作條件下都能提供可靠且精確的壓力讀數。
智能化設計:作為一款現代真空計,PCG550可能配備數字接口(如RS-232、RS-485、Ethernet等)、可編程功能、以及與自動化控制系統集成的能力,便于數據記錄、遠程監控和系統集成。
工業級品質:作為德國制造的產品,PCG550遵循嚴格的工業標準,具備出色的耐用性和抗干擾性能,適用于嚴苛的工業生產環境。
應用領域:
PCG550皮拉尼電容膜片真空計廣泛應用于半導體制造、鍍膜工藝、科學研究、真空爐、檢漏系統、航空航天、以及其它需要精確真空控制的工業和實驗室場合。
總結來說,德國INFICON PCG550皮拉尼電容膜片真空計是一款融合了兩種真空測量技術的設備,憑借其寬量程、高精度、氣體類型無關性及工業級品質,成為中高真空環境測量的理想
選擇。