一、射頻發生器
電 路 類 型 | 他激式固態射頻發生器，由兩只金屬氧化物場效應管MOSFET管組成的推挽放大電路，全自動點火，全自動匹配調諧，計算機實時監控，全自動化自動控制。 | 工作頻率 | 27.12MHz±0.05% |
頻率穩定性 | <0.01% | ||
輸出功率 | 800－1500w | ||
輸出功率穩定性 | ≤0.1% | ||
電磁場泄漏射強度 | 距機身30cm | ||
電場強度E | <1V/m | ||
磁場強度H | <0.2A |
二：進樣系統
輸出工作線圈內徑 | 25mm， 3匝 | 炬管 | 三重同心石英炬管 |
同軸型噴霧器外徑 | 6mm | 雙筒形霧室外徑 | 35mm |
氬氣流量計規格和載氣壓力表規格 | 等離子氣流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) | ||
輔助氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
載氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
載氣穩壓閥（0-0.6M Pa） | |||
三、測光系統
光電倍增管規格 | R212UH | 信號采集為V/F交換 | 1mV對應100Hz |
光電倍增管負高壓 | 200-1000V 穩定性<0.05% | 光電倍增管電流測量范圍 | 10-12 -10-4A |
三、分光系統
光路 | Czerny- Turner | 焦距 | 1000mm | |
光柵規格 | 離子刻蝕全息光柵 | 刻線密度 | 3600線/mm | |
分辨率 | ≤0.008nm | 刻線面積 | 80×110mm | |
示值誤差 | ≤±0.03nm | 波長范圍 | 180-500 nm | |
透鏡 | ф30，1：1成像 | 入射狹縫 | 20μm | |
發射鏡規格 | （78× 105 × 16）mm | 出射狹縫 | 20μm | |
步進電機驅動最小步距 | 0.0005nm | |||
