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光學表面輪廓儀

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  • 更新時間2024-01-04
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系統簡介光學輪廓儀是用于3D形貌定量測試,表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具
光學表面輪廓儀 產品詳情

系統簡介

光學輪廓儀是用于3D形貌定量測試,表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。 可以測量各種材料的面形,提供各種參數,包括表面結構,面形和臺階高度等等的2D3D 圖形。與探針式接觸式輪廓儀相比,由于采用非接觸式的測量系統,沒有耗材,不會引起待測件的損傷。

IMOS nanoprofilometer光學表面輪廓儀設計結構緊湊,具有兩種測量模式,可定量測量微米尺度和納米尺度表面形貌輪廓。具有測量速度快,測量精度高,性價比高的特點。


系統特點

測量各種材料的面形,包括平坦度,粗糙度,面形和臺階高度等

測量精度高,Z方向精度可打30pm

測量速度快,幾秒鐘內可捕捉超過兩百萬數據點。

與同類產品相比較(包括探針式接觸式輪廓儀)具有高性價比,

結構緊湊,抗振隔振。

非接觸式的測量系統,沒有耗材,不會引起待測件的損傷。

操作簡便,易于維護

支持大面積拼接測量


系統參數

測量面積

0.4X0.3mm2

橫向精度

1µm

縱向精度

30pm (Nanorelief模式)

0.3µm (Microrelief模式)

測量范圍

20µm (Nanorelief模式)

50mm (Microrelief模式)


測試實例



關鍵詞:輪廓儀
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