主要特點
該款設備主要針對一些高真空退火，快速升溫爐(RTP)，高壓燒結，快速淬火，正壓CVD，電極測試等功能，其設計滑軌可以在高溫時直接滑出爐管，從而可以實現快速降溫。也可以將爐膛內加熱到目標溫度，快速將爐管推入爐膛內，可以實現每秒50度的升溫，可以作為快速升溫爐使用，該款設備可以一機多用，可以更換爐管材質，如石英管，特種鋼管，莫來石管等，是材料實驗室處理的產品。
技術參數
| 額定功率 | KW | 3 | ||||
| 額定電壓 | V | AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz | ||||
| 溫度 | ℃ | 1100℃（合金鋼耐壓管），石英管可以到1200℃ | ||||
| 額定溫度 | ℃ | ≤1050℃（合金鋼耐壓管），石英管可以到≤1150℃ | ||||
| 壓力 | MPa | 10Mpa（合金鋼耐壓管） | ||||
| 真空度 | Pa | 1×10-4Pa（配分子泵系統），機械泵 1pa | ||||
| 升溫速率 | ℃/S | 30℃/S（100-1000℃） | ||||
| 降溫速率 | ℃/S | 10℃/S（1000-200℃） | ||||
| 加熱元件 | | 電阻絲(進口康泰爾電阻絲) | ||||
| 爐管尺寸 | mm | 不銹鋼密封管Φ60×510mm、Φ20×510mm（可定制） | ||||
| 加熱區長度 | mm | 350 | ||||
| 恒溫區長度 | mm | 200 | ||||
| 可移動范圍 | mm | 550 | ||||
| 控溫方式 | | 模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 | ||||
| 控溫精度 | ℃ | ±1 | ||||
| 法蘭 | 法蘭冷卻方式：內水冷循環鎧裝法蘭（配合金鋼耐壓管） 法蘭密封方式：貝意克卡箍法蘭（風冷）
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| 標準配件 | 不銹鋼密封管1根，CF法蘭1套，無氧銅密封圈1套，高溫手套1副，坩堝鉤1支 | |||||
| 認證標準 |  CE認證 | |||||
| 尺寸 | mm | 1190×383×580mm | ||||
| 包裝尺寸 | mm | 1240×430×630（木箱包裝） | ||||
| 凈重 | Kg | 75 | ||||
| 毛重 | Kg | 110 | ||||
