- 主要特點-
ZNX超精密電容位移傳感器特點：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；線性0.02%；< span="">
(2)、對位置的尺度變化非常敏感，精確測量到皮米級位移變化；
(3)、可調諧以滿足應用要求；
(4)、高精度，線性度可至0.02%FS；
(5)、高熱穩定性結構（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以限度地減少位置漂移；
(6)、適用于各種應用并適應各種環境挑戰，可用于真空，低溫，強輻射。
-應用領域-
ZNX超精密電容位移傳感器應用領域：
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。
- 技術規格-
ZNX超精密電容位移傳感器技術規格：
傳感器型號 | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
靈敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
溫漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
靈敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
溫漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作溫度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探頭） | ||
存儲溫度 | 0～+70℃ | ||
相對濕度 | 5～95%（無冷凝） | ||
頻響Hz | 50/500/5000 | ||
控制器型號 | CC-A-4101 | ||
傳感器通道個數 | 1 | ||
供電 | ±15V，75mA | ||
模擬輸出V | ±10 | ||
數字輸出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
頻響Hz | 100 or 1k or 10k | ||
◆我們保留規格變化而不另行通知的權利。
- 測量原理-
ZNX超精密電容位移傳感器測量原理：
