產品特色
● 數字化產品
● 帶氣動截止閥，泄漏率低
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
● 可選高精度 優于0.5%
● 高量程比 100：1
● 響應時間快 僅需100 ms（可調）
● 內置128種常規以及腐蝕性氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
技術指標
介質要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質種類 內置了128種氣體，請參考“產品資料下載”中氣體兼容表一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM（）
量 程 比 100:1
顯示流量：102.4%FS
顯 示 屏 帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程
高 精 度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
閥門泄漏率 不超過1x10 atm scc/sec (He)
重 復 性 ± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ℃ / Atm
響應時間 100ms 預熱時間：<1s
標定工況 25℃ & 100kPa 絕壓
20℃ & 100kPa 絕壓
0 ℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)
工作溫度 -10 ～ +50 ?C
工作濕度 0-99%,無冷凝
標準工作壓力 1MPa 表壓
標準極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項 2MPa
數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ～ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭
材 質 316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根據特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們
