- 主要特點-
>5微米運動范圍，高于納米級分辨率；
振蕩頻率>8K；
小于微秒級響應時間(負載5g)；
現場掃描和步驟反應化；
高穩定性；
即插即用，低停機時間；
-應用領域-
磁頭和硬盤測試；
干涉測量……
- 技術規格-
參數 | 符號 | 值 | 單位 | 備注 | ||||||
靜態參數 |
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| 最小 | 標準 |
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| ||||
材質 |
| 鋁 |
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尺寸 |
| 23（長）×16.5（寬）×7.6（高） | mm |
| ||||||
*范圍 | dxp·max | 6.5 |
| μm |
| |||||
*比例因子 | bx1 |
| 1 |
| μm | ① | ||||
*比例因子誤差 | δbx1 |
| 小于0.1 | % | ||||||
共振頻率（空載） | f0·0 | 8000 |
| Hz |
| |||||
負載 |
|
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| 5 | g | ② | ||||
動態參數 |
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3dB帶寬 | Bx·p | 500 | Hz |
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*信號響應時間 | txs·s | 1．6 | ms | ③ | ||||||
*位置噪音 | δXp·n | 0.1 | nm | ④ | ||||||
誤差 |
| |||||||||
*磁滯（峰峰值） | δxp·hyst |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑤ | ||||
*線性度（峰值） | δxp·lin |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑥ | ||||
注意：
*這些參數由各轉換器實測并提供。
①、所有的位置命令單位是每微米7個數字分辨率。
②、這是Z軸可承受的負載。
③、這是2%的響應時間，這是伺服系統的閉環參數，用戶可以控制，測試單位是500nm；
④、實際的位置噪音；
⑤、位移的百分比，意思是位移為1um則磁滯小于1nm。
⑥、誤差為滿量程的百分比。
- 測量原理-
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