Pfeiffer 普發 HPA 220 質譜光譜儀分析設備
產品規格:
類型:
質譜
其他特性:
用于氣體分析, 緊湊型
產品介紹:
在壓力范圍高達 50 hPa 下的氣體分析
高壓分析儀 HPA 220 是一個模塊化、靈活實用的質譜儀系統,它帶有一個干式渦輪分子泵組,可用于在壓力高達 50 hPa 的真空中進行氣體分析。
根據 HPA 220 的用途,有五種不同電動氣動以及手動操作的進氣口閥可供選擇。
產品優勢
由于其 5 種手動、電動氣動操作的進氣口選擇,使得它在壓力高達 50 hPa 壓下為分析、監測和控制過程提供了很大的靈活性。
通過各種數字和模擬輸入和輸出,使系統集成方便而靈活。
多重操作允許多個質譜儀 系統只用一臺電腦進行數據評估。
緊湊的尺寸實現靈活的集成。
應用
在 1 · 10-7 至 50 hPa 的壓力范圍內進行真空工藝的分析、監測和控制
真空鍍膜系統的制造商和操作員
半導體生產
光刻
冶金
真空爐
研發