典型應用
- PVD鍍膜系統
- 建筑玻璃鍍膜
- 光學鍍膜
- 液晶顯示器
- 平板顯示
- 科研
- 分析領域
技術特點
- 任意方向安裝
- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前級真空接口
- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列產品
MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS認證：滿足UL要求
- 防護等級IP 54
- 兩個工業通信模塊卡接口
- RS 232，維護接口
- 可以安裝其它接口：Profibus、RS
485 C，9針24 V SPS
客戶得益
- 抽速和氣載量較高
- 可靠、耐用
- 免維護
- 適合用于分析、薄膜技術、電子顯
微鏡、科研領域等對振動敏感的應
用場合
- 由于采用模塊化設計具有靈活性，
變頻器可以安裝在一側或下面
更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info
技術特點
- 任意方向安裝
- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前級真空接口
- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列產品
MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS認證：滿足UL要求
- 防護等級IP 54
- 兩個工業通信模塊卡接口
- RS 232，維護接口
- 可以安裝其它接口：Profibus、RS
485 C，9針24 V SPS
客戶得益
- 抽速和氣載量高
- 可靠、耐用
- 免維護
- 適合用于分析、薄膜技術、電子顯
微鏡、科研領域等對振動敏感的應
用場合
- 由于采用模塊化設計具有靈活性，
變頻器可以安裝在一側或下面
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典型應用
- PVD鍍膜系統
- 建筑玻璃鍍膜
- 光學鍍膜
- 液晶顯示器
- 平板顯示
- 科研
- 分析領域
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技術參數 TURBOVAC MAG INTEGRA W
1300 iP(L) 1600/1601 iP(L)
進氣口法蘭 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | ||
200 CF | |||||
抽速 | |||||
氮氣 | I x s-1 | 1100 | 1600 | ||
氬氣 | I x s-1 | 1050 | 1470 | ||
氦氣 | I x s-1 | 1220 | 1770/1700 | ||
氫氣 | I x s-1 | 1130 | 1570/1500 | ||
轉速 | min-1 | 37 800 | 33 000 | ||
可調待機轉速 | min-1 | 13 800 (230 Hz) | 13 800 (230 Hz) | ||
壓縮比 | |||||
氮氣 | > 108 | > 107 | |||
氬氣 | > 108 | > 107 | |||
氫氣，1 sccm時 | 2 0 x 105 | 6 x 104/3 x 103 | |||
氦氣，1 sccm時 | 8 0 x 103 | 1 0 x 103/5 x 102 | |||
氣載量 | |||||
氮氣，短暫，例如抽出中 | |||||
mbar x I x s-1 | 30 | 60 | |||
氮氣，連續使用 | |||||
mbar x I x s-1 | 20 | 30/40 | |||
氬氣，短暫，例如抽出中 | |||||
mbar x I x s-1 | 20 | 30 | |||
氬氣，連續使用 | |||||
mbar x I x s-1 | 15 | 20/25 | |||
極限壓強 | |||||
ISO-F法蘭 | mbar | < 10-8 | < 10-8 | ||
CF法蘭 | mbar | < 10-10 | – | ||
高除氣溫度 | °C | 80 | 80 | ||
前級耐壓 | |||||
氮氣 | mbar | 4 | 1 | ||
氬氣 | mbar | 0 6 | 1 | ||
推薦的前級泵 | TRIVAC B 或干泵 | ||||
加速時間 | min | < 5 | < 7 | ||
前級管道法蘭 | DN | 40 KF | 40 KF | ||
吹掃/破空端口(夾鏈式) | DN | 16 KF | 16 KF | ||
水冷接口尺寸 | G | 1/8" | 1/8" | ||
重量 | kg | 40 | 45 | ||
執行ISO 3744標準的噪聲級 | dB(A) | < 41 | < 41 | ||
速度時高真空法蘭處的振動值 | μm | 0 01 | 0 01 | ||
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