3D光學(xué)輪廓儀是具有白光干涉和相移干涉技術(shù)的表面形貌儀,具有高掃描速度,垂直分辨率高達(dá)亞納米0.1nm,從而具有三維臺(tái)階儀功能。
3D光學(xué)輪廓儀NV系列具有探針/傾斜功能，能夠測(cè)量甚至高度傾斜的表面。可以虛擬測(cè)量任何表面，并立即顯示生動(dòng)的3D圖像，如紋理,粗糙度,透明的樣品等等。
3D光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)
白光掃描干涉技術(shù)-非接觸、無(wú)損、快速測(cè)量
觸針儀器不能測(cè)量小于觸針直徑的微凹凸。白光干涉測(cè)量法可以測(cè)量微幾何形狀的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相當(dāng)高的分辨率。
移相干涉技術(shù)
相移干涉測(cè)量法是一種成熟的技術(shù)用于依賴(lài)于在受控相移期間獲取的干擾數(shù)據(jù)，大多數(shù)通常由受控的機(jī)械振蕩引起干擾物鏡,它提供具有典型高度測(cè)量的完整3D圖像,重復(fù)精度高達(dá)1nm。
區(qū)域掃描強(qiáng)度測(cè)量方法
與掃描視場(chǎng)中每個(gè)點(diǎn)的方法不同，WSI具有通過(guò)測(cè)量來(lái)減少測(cè)量時(shí)間的*點(diǎn)區(qū)域掃描
輪廓儀的粗糙度測(cè)量功能
3D光學(xué)輪廓儀NV系列具有探針/傾斜功能，能夠測(cè)量甚至高度傾斜的表面。可以虛擬測(cè)量任何表面，并立即顯示生動(dòng)的3D圖像，如紋理,粗糙度,透明的樣品等等。
3D光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)
白光掃描干涉技術(shù)-非接觸、無(wú)損、快速測(cè)量
觸針儀器不能測(cè)量小于觸針直徑的微凹凸。白光干涉測(cè)量法可以測(cè)量微幾何形狀的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相當(dāng)高的分辨率。
移相干涉技術(shù)
相移干涉測(cè)量法是一種成熟的技術(shù)用于依賴(lài)于在受控相移期間獲取的干擾數(shù)據(jù)，大多數(shù)通常由受控的機(jī)械振蕩引起干擾物鏡,它提供具有典型高度測(cè)量的完整3D圖像,重復(fù)精度高達(dá)1nm。
區(qū)域掃描強(qiáng)度測(cè)量方法
與掃描視場(chǎng)中每個(gè)點(diǎn)的方法不同，WSI具有通過(guò)測(cè)量來(lái)減少測(cè)量時(shí)間的*點(diǎn)區(qū)域掃描
輪廓儀的粗糙度測(cè)量功能
高可追溯性和重復(fù)精度
通過(guò)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院認(rèn)證的超大規(guī)模集成電路步長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)。實(shí)現(xiàn)的精度和作為高度測(cè)量系統(tǒng)的可重復(fù)精度。
光學(xué)輪廓儀的臺(tái)階高度測(cè)量功能
**的軟件
給出臺(tái)階高度,粗糙度并進(jìn)行3D數(shù)據(jù)分析
圖像縫合功能
表面形貌分析
表面顏色和強(qiáng)度分析
灰度圖像,二進(jìn)制圖像,彩色圖像分析
高光譜圖像分析
3D粗糙度分析
3D光學(xué)輪廓儀規(guī)格參數(shù)
| 型號(hào) | NV-1800 | NV-2400 | NV-2700 | NV-3200 |
| 測(cè)量技術(shù) | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 |
| FOV鏡頭 | 1x | 1x | 4位電動(dòng)物鏡塔臺(tái) | 4位電動(dòng)物鏡塔臺(tái) |
| 干涉物鏡 | 單鏡頭 | 5鏡頭（手動(dòng)） | 5鏡頭（電動(dòng)） | 5鏡頭（電動(dòng)） |
| 照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 |
| 掃描范圍 | <=270um | <=270um | <=270um | <=270um |
| 掃描速度 | 7.2微米/秒 | 12微米/秒 | 12微米/秒 | 12微米/秒 |
| Tip/tilt | +/-3度（位移臺(tái)tip/tilt） | 探針+/-6度手動(dòng)傾斜 | 探針+/-6度電動(dòng)傾斜 | 探針+/-6度電動(dòng)傾斜 |
| 垂直分辨率 | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm |
| 橫向分辨率 | 0.2~4um | 0.2~4um | 0.2~4um | 0.2~4um |
| 臺(tái)階高度重復(fù)精度 | 0.2%@1sigma | 0.1%@1sigma | 0.1%@1sigma | 0.1%@1sigma |
| XY行程 | 70x50mm手動(dòng) | 100x100mm電動(dòng) | 100x100mm電動(dòng) | 300x300mm電動(dòng) |
| Z行程 | 30mm手動(dòng) | 100mm手動(dòng) | 100mm電動(dòng) | 100mm電動(dòng) |
| 位移臺(tái)尺寸 | 90x90mm | 230x230mm | 230x230mm | 445x445mm |
| FOV鏡頭可選 | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x |
| 干涉鏡頭可選 | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x |
