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  • 3D光學(xué)輪廓儀

FPNAN-NV 3D光學(xué)輪廓儀

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)FPNAN-NV
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-09-12
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地區(qū)
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1482
  • 人氣值10988
產(chǎn)品標(biāo)簽

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3D光學(xué)輪廓儀是具有白光干涉和相移干涉技術(shù)的表面形貌儀,具有高掃描速度,垂直分辨率高達(dá)亞納米0.1nm,從而具有三維臺(tái)階儀功能
3D光學(xué)輪廓儀 產(chǎn)品詳情
3D光學(xué)輪廓儀是具有白光干涉和相移干涉技術(shù)的表面形貌儀,具有高掃描速度,垂直分辨率高達(dá)亞納米0.1nm,從而具有三維臺(tái)階儀功能。
3D光學(xué)輪廓儀NV系列具有探針/傾斜功能,能夠測(cè)量甚至高度傾斜的表面。可以虛擬測(cè)量任何表面,并立即顯示生動(dòng)的3D圖像,如紋理,粗糙度,透明的樣品等等。
3D光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)
白光掃描干涉技術(shù)-非接觸、無(wú)損、快速測(cè)量
觸針儀器不能測(cè)量小于觸針直徑的微凹凸。白光干涉測(cè)量法可以測(cè)量微幾何形狀的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相當(dāng)高的分辨率。
移相干涉技術(shù)
相移干涉測(cè)量法是一種成熟的技術(shù)用于依賴(lài)于在受控相移期間獲取的干擾數(shù)據(jù),大多數(shù)通常由受控的機(jī)械振蕩引起干擾物鏡,它提供具有典型高度測(cè)量的完整3D圖像,重復(fù)精度高達(dá)1nm。
區(qū)域掃描強(qiáng)度測(cè)量方法
與掃描視場(chǎng)中每個(gè)點(diǎn)的方法不同,WSI具有通過(guò)測(cè)量來(lái)減少測(cè)量時(shí)間的*點(diǎn)區(qū)域掃描

輪廓儀的粗糙度測(cè)量功能

高可追溯性和重復(fù)精度
通過(guò)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院認(rèn)證的超大規(guī)模集成電路步長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)。實(shí)現(xiàn)的精度和作為高度測(cè)量系統(tǒng)的可重復(fù)精度。

光學(xué)輪廓儀的臺(tái)階高度測(cè)量功能
**的軟件
給出臺(tái)階高度,粗糙度并進(jìn)行3D數(shù)據(jù)分析
圖像縫合功能
表面形貌分析
表面顏色和強(qiáng)度分析
灰度圖像,二進(jìn)制圖像,彩色圖像分析
高光譜圖像分析
3D粗糙度分析
3D光學(xué)輪廓儀規(guī)格參數(shù)

型號(hào) NV-1800 NV-2400 NV-2700 NV-3200
測(cè)量技術(shù) 白光干涉/移相干涉 白光干涉/移相干涉 白光干涉/移相干涉 白光干涉/移相干涉
FOV鏡頭 1x 1x 4位電動(dòng)物鏡塔臺(tái) 4位電動(dòng)物鏡塔臺(tái)
干涉物鏡 單鏡頭 5鏡頭(手動(dòng)) 5鏡頭(電動(dòng)) 5鏡頭(電動(dòng))
照明 白光LED照明 白光LED照明 白光LED照明 白光LED照明
掃描范圍 <=270um <=270um <=270um <=270um
掃描速度 7.2微米/秒 12微米/秒 12微米/秒 12微米/秒
Tip/tilt +/-3度(位移臺(tái)tip/tilt) 探針+/-6度手動(dòng)傾斜 探針+/-6度電動(dòng)傾斜 探針+/-6度電動(dòng)傾斜
垂直分辨率 白光干涉0.5nm
移相干涉0.1nm
白光干涉0.5nm
移相干涉0.1nm
白光干涉0.5nm
移相干涉0.1nm
白光干涉0.5nm
移相干涉0.1nm
橫向分辨率 0.2~4um 0.2~4um 0.2~4um 0.2~4um
臺(tái)階高度重復(fù)精度 0.2%@1sigma 0.1%@1sigma 0.1%@1sigma 0.1%@1sigma
XY行程 70x50mm手動(dòng) 100x100mm電動(dòng) 100x100mm電動(dòng) 300x300mm電動(dòng)
Z行程 30mm手動(dòng) 100mm手動(dòng) 100mm電動(dòng) 100mm電動(dòng)
位移臺(tái)尺寸 90x90mm 230x230mm 230x230mm 445x445mm
FOV鏡頭可選 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x
干涉鏡頭可選 2.5x,5x,10x,20x,50x,
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2.5x,5x,10x,20x,50x,
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