1400℃真空氣氛管式電爐氣體流量控制系統(tǒng)。通過浮子或質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)進(jìn)氣量，以滿足用戶在不同反應(yīng)氣氛或保護(hù)氣氛條件下的實(shí)驗(yàn)要求。
1、1400℃真空氣氛管式電爐爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的多晶莫來纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1500度的優(yōu)質(zhì)硅碳棒。 國產(chǎn)程序 SK-G04143 SK-G05145 SK-G06143 SK-G08143 進(jìn)口程序 SK-G04145 SK-G05145 SK-G06145 SK-G08145 溫區(qū) 單溫區(qū) 溫度 1400℃ 加熱區(qū)長度 200mm 400mm 恒溫區(qū)長度 70mm 140mm 加熱元件 硅碳棒 空爐升溫時(shí)間 <30min 額定功率 2.5Kw 5Kw 額定電壓 220V 溫度控制 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控制；進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控制； 控溫精度 ±1℃ 石英管尺寸（mm） Φ40/34x1000 Φ50/44x1000 Φ60/50x1000 Φ80/70x1000 爐管材料 剛玉管 爐管工作溫度 ＜1300℃ 配置爐管時(shí)升溫速度 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min 外形尺寸（深x寬x高） 315x440x539mm 400x614x653mm 重量 60Kg 85Kg 標(biāo)準(zhǔn)配置 氣路總成一套（含真空壓力表），剛玉管一支，剛玉堵塞兩個(gè)，鉤子一把，高溫手套一副 真空/氣氛總成配套（可選） 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)； 氣路控制系統(tǒng)：氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)； 計(jì)算機(jī)集散控制系統(tǒng)； CVD電爐系統(tǒng)；
2、1400℃真空氣氛管式電爐密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調(diào)功能。
3、1400℃真空氣氛管式電爐兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力，杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。
4、1400℃真空氣氛管式電爐*的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到達(dá)50℃時(shí)，排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng)，使?fàn)t體表面快速降溫。
