簡介
Leica EM TIC 3X 通過離子槍激發獲得的離子束，以垂直于樣品側面縱向轟擊樣品，可獲得高質量無應力“切割”截面，便于SEM觀察。該處理方法適用于多層膜材料、軟硬復合材料等高難度制備樣品，并且操作簡單，可有效避免涂抹效應，不需要大量摸索條件即可獲得理想的截面，使樣品暴露內部細微結構信息。
主要技術優勢：
1、人體工學設計，簡單易用
體視顯微鏡方便定位校準和樣品處理過程的觀察；一體式觸摸屏控制面板操作直觀，并帶有提示和幫助信息，便于使用者掌握和使用；USB數據接口可實現操作參數或報告的上傳和下載。
2、高效
既可獲得優秀高質量結果，有可高通量制樣。三離子束系統使得樣品制備結果優化并有效縮短工作時間；一次運行可容納三個樣品；一體化解決方案確保樣品被安全而高效地轉移至后繼制備設備或分析儀器中。
3、靈活
Leica EM TIC 3X提供五種可切換樣品臺，根據應用需求，靈活選擇標準類型樣品制備、高通量樣品制備、特殊的熱敏感型樣品在低溫下樣品制備等；樣品可被真空冷凍傳輸進入冷凍掃描電鏡（Cryo-SEM）。
旋轉樣品臺
用于對已經機械拋光的樣品表面進行離子束平面拋光。在離子束研磨過程中，樣品可以旋轉或擺動。同時，樣品還可以橫向運動，可獲得超過Φ25mm的研磨區域。從而，去除如涂抹效應和細小劃痕等機械研磨產生的假象，暴露出樣品內部真實結構。
旋轉樣品臺可以選配一個截面切割載物臺，用于對樣品精確截面切割，將粗糙預制備樣品離子束切割得到高質量樣品截面。
三樣品臺
用于高通量制樣。可以同時放入三個樣品，一次運行（如過夜運行）完成樣品制備，不需要操作者介入。在設定樣品制備程序時，每一個樣品裝載臺位置都可設定不同的樣品/擋板運動參數，擺動或不擺動。設定擺動，可以獲得三倍寬的樣品加工區域。因此在一個樣品裝載位置又可制備多個樣品。
標準樣品臺
用于常規樣品制備以及對制備獲得的平整截面再做襯度增強作用（離子束刻蝕）。
冷凍樣品臺
提供低溫環境下樣品制備。使用冷凍樣品臺，樣品載臺和擋板溫度都可降至-160℃，這樣溫度極敏感的樣品，如橡膠，水溶性聚合物纖維，甚至是棉花糖（如實驗需要）也可被制備獲得高質量結果。25L的液氮罐可為一整個工作日提供足夠量的LN2，不需要中途再添加。當需要打開樣品室，樣品及冷凍部件將在真空環境下先自動升溫恢復至預設的合適溫度，以避免樣品室內部結霜污染。
真空冷凍傳輸配置
通過此裝置，樣品可從Leica EM TIC 3X在可控條件下被傳輸進入冷凍掃描電鏡（Cryo-SEM）中。為環境敏感型樣品提供解決方案，這類樣品可以在惰性氣體/真空環境下被傳輸進入鍍膜系統/掃描電鏡中。由于真空傳輸系統具有保持冷凍功能，冷凍劑制冷的樣品（如經高壓冷凍的生物樣品）可以被傳輸并檢測。
主要技術參數：
● 可容納樣品尺寸50×50×10mm，可獲得有效切割截面面積＞4mm×1mm
● 三把離子槍，離子束能量1keV-10keV，切割速率150μm/h （[ protected], 50μm切割高度）
● 離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉運動，無投影效應，熱傳導性好
● 可進行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍
● 真空泵解耦合設計，無震動傳導
● 觸摸屏操作面板，直觀、簡易操作，可編程可軟件升級
● 可選配：液氮制冷冷臺-150°至 30°，25L液氮罐及自動泵，具有自動快速制冷功能
● 可選配：三樣品臺，可一次連續處理三個樣品
