優(yōu)勢特點：
Ø 經(jīng)濟實用
Ø 純中文操作界面，具有一鍵成像功能
Ø 自動調(diào)整功能：電子槍加熱、偏壓、對中、聚焦、亮度、對比度、消像散、像散記憶等
Ø 自動校正、自動故障檢測
Ø 低維護、維修成本
| 項目 | EM6200 | EM6200Z | |
| 分辨率 | SE:4.5nm (30KV)；BSE:6.0nm (30KV) | ||
| 放大倍數(shù) | 底片放大：15X ~ 250,000X 屏幕放大：30X ~ 500000X | ||
| 電子槍類型 | 翻開式發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢燈陰極 | ||
| 加速電壓 | 0 ~ 30KV | ||
| 透鏡系統(tǒng) | 三級電磁透鏡（錐形物鏡） | ||
| 物鏡光闌 | 三個光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié) | ||
| 樣品臺 | 手動 | X/Y軸自動 | |
| 行程 | X | 0 ~ 50mm | |
| Y | 0 ~ 50mm | ||
| Z | 0 ~ 25mm | ||
| R | 360° | ||
| T | -5° ~ 90° | ||
| 探測器 | 二次電子探測器，背散射電子探測器（可選），X-ray能譜儀（可選） | ||
| 真空系統(tǒng) | 分子泵 | ||
