優勢特點:
Ø 經濟實用
Ø 純中文操作界面,具有一鍵成像功能
Ø 自動調整功能:電子槍加熱、偏壓、對中、聚焦、亮度、對比度、消像散、像散記憶等
Ø 自動校正、自動故障檢測
Ø 低維護、維修成本
項目 | EM6200 | EM6200Z | |
分辨率 | SE:4.5nm (30KV);BSE:6.0nm (30KV) | ||
放大倍數 | 底片放大:15X ~ 250,000X 屏幕放大:30X ~ 500000X | ||
電子槍類型 | 翻開式發叉結構鎢燈陰極 | ||
加速電壓 | 0 ~ 30KV | ||
透鏡系統 | 三級電磁透鏡(錐形物鏡) | ||
物鏡光闌 | 三個光闌可在真空外選擇調節 | ||
樣品臺 | 手動 | X/Y軸自動 | |
行程 | X | 0 ~ 50mm | |
Y | 0 ~ 50mm | ||
Z | 0 ~ 25mm | ||
R | 360° | ||
T | -5° ~ 90° | ||
探測器 | 二次電子探測器,背散射電子探測器(可選),X-ray能譜儀(可選) | ||
真空系統 | 分子泵 |