壓電物鏡定位器 產(chǎn)品特點
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Z 向運動 |
大行程范圍 |
承載達 0.5kg |
可選配閉環(huán)傳感器 |
產(chǎn)品應用
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聚焦顯微 |
激光加工 |
Z 向定位與掃描 |
表面結(jié)構(gòu)分析 |
| 技術(shù)參數(shù) | |||
| 型號 | XD730.400S-B1 | XD730.400K-B1 | 單位 |
| 運動方向 | Z | Z | |
| 標稱行程范圍（0~120V） | 400 | 400 | μm±10% |
| 行程范圍（0~150V） | 500 | 500 | μm±10% |
| 傳感器類型 | SGS | - | |
| 分辨率 | 14 | 4 | nm |
| 閉環(huán)線性度 | 0.2 | - | %F.S. |
| 閉環(huán)重復定位精度 | 0.05 | - | %F.S. |
| 空載諧振頻率 | 150 | 150 | Hz±20% |
| 靜電容量 | 28.8 | 28.8 | μF±10% |
| 承載能力 | 0.5 | 0.5 | kg |
| 重量 | 520 | 520 | g±5% |
| 臺體材料 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | |
注：以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅(qū)動電壓可在-20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0~120V。
壓電物鏡定位器
