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  • 雙爐膛滑軌式PECVD

雙爐膛滑軌式PECVD

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地鄭州市
  • 更新時間2023-07-29
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區鄭州市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量272
  • 人氣值1297
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   公司以科技創新為主,服務客戶為宗旨,積極研究開發新產品,奉獻于教育和科研,經過*的研發和不斷的技術積累,擁有熱工、制造、控制相關技術30余項,為化學、物理、材料、電子、高分子工程、新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。公司通過引進“千人”強強聯合,形成了有效的信息、技術交流平臺,為諾巴迪化發展提供了強有力的支持!

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   公司與“新世紀材料基因組工程研究院”有多層次的戰略合作關系,建有開放實驗室,新能源新材料領域的千人教授、高級工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念,依靠嚴謹的技術研發能力、科學合理的生產工藝、精益求精的制造要求,全心全意做好產品質量和服務工作,我們諾巴迪人時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。

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雙爐膛滑軌式PECVD
雙爐膛滑軌式PECVD 產品詳情

設備簡介:

雙溫區的PECVD管式爐系統,組成部分為500W的射頻發生器、可定位的獨立滑動式燒結爐、高精度質量流量混合系統、穩定防反油真空系統。此款PECVD可用于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜。


配置詳情

1. 清洗鍍膜一氣呵成,杜絕二次污染;

2. 上開啟式結構,方便觀察試樣;

3. 產品采用全自動控制方式,觸摸屏,數字化顯示;

4. 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果;

5. 穩定的射頻電源,均勻的溫度分布,提高成膜質量;

產品型號

NBD-PECVD1200-50IIT

電氣規格

AC220V 3KW 射頻功率:300或500瓦 13.56Mhz

可達溫度

1200 ℃ (<1小時)

連續溫度

1100 ℃ (連續)

可達加熱速率

≤ 20 ℃/分鐘

加熱區長度

200mm+200mm(兩個加熱溫區分別加熱,分體式設計使溫度梯度可以達到極限)

爐管尺寸

Φ50*1800mm

射頻線圈

采用多節點鍍銀的水冷銅線圈,可匹配不同頻率的射頻電源

控制系統

1.可預存15條溫度曲線,避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩;

2.實驗過程更加直觀,操作更加便捷;

3.可另選配無線控制模塊,實現遠程操控;

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統

真空度:≤10Pa(機械泵),達到啟輝條件。

壓力測量與監控

采用數顯真空計可直觀顯示設備的真空度,實驗數據及效果更加準確。

供氣系統

采用質量流量計控制,與設備一體化,方便控制,出廠前已進行漏氣測試工作

凈重

100KG

設備使用注意事項

1. 設備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;

2. 設備使用時,爐管內壓力不得超過0.125MPa(壓力),以防止壓力過大沖開密封法蘭;

3. 高真空下使用時(10的負3次方Pa),設備使用溫度不得超過800℃。

服務支持

1年有限保修,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等)

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