產品型號：NBD-103(A)
該系統采用分子泵作為主工作泵，采用機械泵作為分子泵前級泵，真空系統組成機械泵內部已配有隔斷放氣裝置，真空系統組成它主要由連接管道，分子泵,機械泵構成，通過標準配件連接,全部采用不銹鋼材料，電拋光處理。系統設計有預抽功能。
技術指標：
環境溫度5~32℃，
空氣相對濕度≤85%，
工作電電壓：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
系統整體極限真空度：4.3X10Pa
外形尺寸：850 X600 X 650mm
技術參數：
| 序號 | 主要配置 | NBD-103(A)系統 | NBD-103(B)系統 |
| 1 | 機械泵 | 抽氣速率：4L/S 電機功率：400W 極限壓強6X10-2Pa | 抽氣速率：6L/S 電機功率：500W 極限壓強6X10-2Pa |
| 2 | 分子泵參數
| 抽氣速率：100L/S 極限壓強：6X10-6Pa 啟動時間：＜2min 額定轉速：43000轉/分 冷卻方式:：風冷/水冷 | 抽氣速率：600L/S 極限壓強：6X10-6Pa 啟動時間：＜2min 額定轉速：27000轉/分 冷卻方式:：風冷/水冷 |
| 3 | 分子泵控制電源 | 電壓：200~240V 輸出功率：250W 加速時間：3分鐘 輸出頻率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% | 電壓：380~410V 輸出功率：400W 加速時間：3分鐘 輸出頻率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% |
| 4 | 復合真空計 | 工作電電壓： 220V 50~60HZ 電阻規阻值：約85 歐 自動保護（電離）>10Pa 電離規管測量范圍：100~1010-5Pa 電阻規管測量范圍：105 ～10-1 pa | 工作電電壓： 220V 50~60HZ 電阻規阻值：約85 歐 自動保護（電離）>10Pa 電離規管測量范圍：100~1010-5Pa 電阻規管測量范圍： 105 ～10-1 pa |
| 5 | 高真空手動隔斷閥 | 采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口，漏率達5X10-9 Pam3/s | 采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口 漏率達5X10-9 Pam3/s |
| 6 | 連接管路 | 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于 1×10-9Pa.m3/s | 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于 1×10-9Pa.m3/s |
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