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  • Vaclon Plus 離子泵 / TSP 鈦升華泵 / 離子和鈦升華組合泵

Vaclon Plus 離子泵 / TSP 鈦升華泵 / 離子和鈦升華組合泵

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2023-07-21
  • 廠商性質其他
  • 所在地區安徽
  • 實名認證已認證
  • 產品數量41
  • 人氣值293
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香港自動工程有限公司于1972年在香港創立,經過三十多年的發展,自動工程已成為一家在中國(包括香港)的真空泵、風馬達、鼓風機、空氣壓縮機及各類氣動元件的專業供應商。自動工程無論在提供優質產品、*、技術支援及配件方面都能夠滿足客戶的不同需要,因此獲得客戶*的評價及鞏固了我公司在真空系統及氣動行業上的。我公司分別在深圳、廣州、東莞、上海、合肥、天津、濟南、成都、重慶設有維修服務部中心為客戶將提供快捷、*的*。                                                

 

主要經銷品牌有美國GAST真空泵、壓縮泵、鼓風機及氣動馬達;德國BECKER真空泵、印刷泵及鼓風機:德國LEYBOLD真空泵;日本FUJI鼓風機、德國SIEMENS鼓風機、中國臺灣KAWAKE真空泵、鼓風機等系列產品的銷售與售后服務。
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VacIonPlus離子和TPS鈦升華組合泵 從上世紀五十年代,由瓦里安公司首先發明的濺射離子泵問世以來,越來越多的新設計和新技術投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即現在的安捷倫科技
Vaclon Plus 離子泵 / TSP 鈦升華泵 / 離子和鈦升華組合泵 產品詳情

VacIon Plus 離子和 TPS 鈦升華組合泵

從上世紀五十年代,由瓦里安公司首先發明的濺射離子泵問世以來,越來越多的新設計和新技術投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即現在的安捷倫科技。從一臺二極型離子泵,到三極型離子泵,再到Starcell 系列產品乃至世界聞名的VacIon Plus 產品家族等。

VacIon Plus離子泵

  • VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的的離子泵產品家族,包括全系列離子泵、控制電源、可選配件及附件??蔀楦鞣N應用提供相應解決方案。除標準產品外,安捷倫科技還為特定應用提供包括電源及相關附件在內的專屬解決方案,以滿足用戶對起始工作壓強、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標的特殊要求。
  • VacIon Plus 離子泵產品家族擁有Diode 二極型、Noble Diode 鉭陰極二極型以及Starcell 三極型泵在內的全系列產品,以超高真空獲得技術為眾多應用領域服務。除MiniVac 和Dual 兩款離子泵電源外,4UHV 離子泵控制器則為不同應用提供了更為豐富的選擇。

鈦升華復合型離子泵

  • 鈦升華復合型離子泵將兩種抽氣原理合二為一:

鈦升華過程針對活性氣體提供了的抽速,而同時Starcell 離子泵則有效清除如氬氣等惰性氣體和甲烷等非活性氣體。復合型泵通過額外的法蘭將鈦升華泵源以及低溫筒集成在泵體當中。安捷倫科技還可針對客戶的特殊需求提供定制產品。

4UHV控制器專為超高真空設計

的安捷倫4UHV 離子泵控制器能同時控制四臺離子泵,可對泵進行獨立操作,并且支持各個型號(包括Diode,Noble Diode,StarCell)。LCD 顯示可同時讀取并顯示四通道信息,包括離子泵電壓,電流和壓力??勺冸妷耗軌蜃x取抽速和壓力。標配內置設定點,遠程操作,以及RS232/485 電腦交互界面。

產品特點:

  • 優化設計的單元結構尺寸和形狀
  • 特別設計的陶瓷絕緣材料
  • 三種不同的抽氣單元可以滿足抽除種混合氣體和特殊應用的要求 (二級泵, Noble二級泵(鉭), 及擁有的StarCell 三級泵)
  • 各種抽速范圍的離子泵
  • 安捷倫真空采用了的高真空處理工藝來確保離子泵的品質
  • 根據用戶特殊要求設計定制
  • 可選配相應的烘烤加熱裝置,以更妥善地烘烤泵體

vacion-300-sc-combi_9192640_01-2

技術參數1

Miniature Pump 2 l/s Pump 10 l/s Pump Vaclon Plus 20 Vaclon Plus 40 Vaclon Plus 55
進氣口法蘭 2 ?” OD CFF 2 ?” OD CFF 4 ?” OD CFF
組件類型 Diode Diode Diode StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode
抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮氣 l/s 0.2 2 10 20 22 27 34 36 40 50 53 55
工作壽命(at 1-6 mbar) Hours N/A 8000 40000 80 50 50 80 50 50 80 50 50
啟動壓力 mbar 1 x 10-4 1 x 10-4 ≤1 x 10-4 <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3
烘烤溫度 °C 400 (without magnet)150 (with magnet) 400 (without magnet)150 (with magnet) 350 350 350 350 350 350 350 350 350 350
重量 Kg 0.3 0.3 4 7 17 18
半導體行業認證 + + + +

 

技術參數2

Vaclon Plus 75 Vaclon Plus 150 Vaclon Plus 300 Vaclon Plus 500
進氣口法蘭 6” OD CFF 6” OD CFF 8” OD CFF 8” OD CFF
組件類型 StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode
抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮氣 l/s 65 68 75 125 135 150 240 260 300 410 440 500
工作壽命(at 1-6 mbar) Hours 80 50 50 80 50 50 80 50 50 80 50 50
啟動壓力 mbar <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3
烘烤溫度 °C 350 350 350 350 350 350 350 350 350 350 350 350
重量 Kg 19 43 69 120
半導體行業認證 +

 

Miniature Pump 離子泵

mini-vacion-pump_02 mini-vacion-pump_03
Vaclon Plus
離子泵

vacion-55_9191340_01 vacion-150_02vacion-300-sc-combi_9192640_01-2


4UHV
控制器

4uhv-ion-pump-controller_02minivac-controller_9290190_014uhv-ion-pump-controller_01

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