一、設備用途:
化學氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備。
二、設備特點:
1 臥式結構,雙爐門結構,爐門啟閉采用氣動方式。
2 雙層爐殼結構,內層不銹鋼,外層為碳鋼,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,石墨碳氈保溫層保溫效果好。
3 控制方式為PLC加觸摸屏方式,有手動及自動控制切換。自動化程度高,操作方便。
4 主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩定、可靠。
5 配備出、裝料料車,方便操作及出裝料,提高工作效率。
三、主要技術參數:
No. | 型號 | 工作區尺 (WXHXL)mm | 高溫度 (℃) | 真空度 (Pa) | 壓升率 (Pa/h) | 溫度均勻性 (℃) | 功率 (KW) |
1 | HZT-100-15 | 400X400X600 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 100 |
2 | HZT-145-15 | 500X500X750 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 145 |
3 | HZT-145-15 | 600X600X900 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 190 |
4 | HZT-360-15 | 700X700X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 360 |