ZED53可定制差動電渦流位置傳感器特點：

(1)、無磨損與非接觸測量，差動原理

(2)、高精度（優(yōu)于±0.3 %FSO）與高分辨率（<0.002 %FSO）

(3)、高溫度穩(wěn)定性（優(yōu)于±0.003 %FSO/°C）

(4)、安裝簡單，um級的安裝精度

(5)、支持探頭定制（探頭的量程、形狀、材料、導(dǎo)線長度可以定制）

(6)、可測鐵磁與非鐵磁材料

(7)、適用于復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境：污垢、壓力、 高/低溫度

在渦流差動系統(tǒng)中，感應(yīng)電橋中的兩個線圈安裝在兩個獨立的傳感器中。并不是一個有源線圈和一個參考線圈，而是兩個傳感器都包含有源線圈，這兩個傳感器通常放置在目標(biāo)的相對兩側(cè)或目標(biāo)樞軸點的相對兩側(cè)。當(dāng)目標(biāo)靠近一個傳感器時，它會遠(yuǎn)離另一個傳感器，從而增加電感電橋一條腿的阻抗，并降低另一條腿的阻抗。這種推挽效應(yīng)放大了每位移的線性輸出，并消除了對增加噪聲和漂移的求和放大器的需要。因此，差分系統(tǒng)比單端系統(tǒng)提供更高的分辨率和熱穩(wěn)定性。

影響測量精度的因素

(1)、目標(biāo)板尺寸：目標(biāo)板尺寸應(yīng)大于探頭尺寸的3倍，且在探頭直徑的3倍空間內(nèi)存在除目標(biāo)物外的其他導(dǎo)電材料將造成線性的惡化；

(2)、目標(biāo)材料：被測目標(biāo)材料如果不使用的材料將使非線性、溫度穩(wěn)定性與參數(shù)表產(chǎn)生差異，用戶可在重新標(biāo)定之后正常使用；

(3)、目標(biāo)厚度：目標(biāo)導(dǎo)體的厚度至少是4倍肌膚深度以上，對鋁合金材料目標(biāo)厚度大于0.4mm。如果兩個測量探頭測量目標(biāo)同—位置的正反面，建議目標(biāo)厚度大于1mm。

(4)、調(diào)零過程：安裝探頭時按照調(diào)零步驟進(jìn)行操作，在第1、2步驟中盡量準(zhǔn)確的將電壓調(diào)整到Vref和0V。如果零點位置偏差較大可能造成非線性、溫度穩(wěn)定性的惡化；

(5)、探頭匹配：為保證傳感器達(dá)到出廠標(biāo)定的性能指標(biāo)，4個測量探頭的編號與通道編號對應(yīng)連接，不可隨意配對安裝；

(6)、固定結(jié)構(gòu)：測量探頭的固定結(jié)構(gòu)應(yīng)盡量穩(wěn)定和緊湊,復(fù)雜的傳動鏈和熱膨脹系數(shù)高的框架材料將惡化測量的溫度穩(wěn)定性；

(7)、角度偏差：目標(biāo)板在運動過程中與測量探頭表面不平行，造成線性的惡化，但對噪聲和溫漂系數(shù)影響不大，用戶可在重新標(biāo)定后正常使用。

屏蔽探頭和非屏蔽探頭

（1）、非屏蔽探頭

線圈用PEEK材料封裝 電磁場分布范圍大 測量范圍大需要更大的被測面尺寸 對相鄰導(dǎo)體的抗干擾性差

（2）、屏蔽探頭

PEEK封裝與金屬外殼平齊 電磁場分布范圍小，測量范圍小 對相鄰導(dǎo)體的抗干擾性強(qiáng)

校準(zhǔn)

為了保持ZED53傳感器具有的綜合性能（特別是溫度穩(wěn)定性），傳感器不提供用于調(diào)整靈敏度和零位的電位器。如果遇到更換目標(biāo)材料、目標(biāo)尺寸偏小、測量探頭周圍有其他金屬等特殊情況需要重新標(biāo)定，則可以記錄下位移與輸出電壓的對應(yīng)關(guān)系，利用數(shù)字校正的方式進(jìn)行優(yōu)化。通常情況下，數(shù)字校正比模擬校正更能保持傳感器的綜合性能。

安裝方式

（1）、螺紋探頭

螺紋固定是比較常用的固定方式，有以下兩種固定方式，探頭需要伸出金屬螺母或固定板一段距離，具體數(shù)值見探頭尺寸圖。

由于螺紋間隙的存在，探頭的安裝角度可能存在一定的誤差，選配和探頭接觸緊密的螺母可以一定程度上減小誤差。

（2）、光桿探頭

光桿探頭可以采用圓周抱死固定，可提供穩(wěn)固的固定效果。探頭需要伸出金屬夾具一段距離，具體數(shù)值見探頭尺寸圖。

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

快速轉(zhuǎn)向鏡

伺服控制位置反饋

舞臺定位

角位移指示

X-Y 軌道位置反饋

觸控筆位置

磁懸浮軸承定位

精密構(gòu)件平衡

集成電路制造平臺定位

……

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器技術(shù)規(guī)格：

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器測量原理：

渦流原理：在電感式位移傳感器中，渦流原理占有的地位。通過渦流進(jìn)行位移測量是基于從振蕩電路中提取渦流能量。傳感器探頭的核心是線圈，給線圈通以高頻交流信號，線圈周圍就會形成磁場；如果將導(dǎo)體放置在該磁場中，根據(jù)法拉第感應(yīng)定律，則會感應(yīng)出渦流場，該電渦流場反過來影響磁場強(qiáng)度，并最終改變線圈的電感和電阻。線圈和導(dǎo)體的距離越近，在導(dǎo)體內(nèi)形成的電渦流強(qiáng)度就越大，線圈電感和電阻變化量就越大，因此線圈的電感和電阻值與距離產(chǎn)生了對應(yīng)關(guān)系。傳感器控制器內(nèi)部的精密解調(diào)電路可以獲取線圈的信號幅度和相位位置的變化來計算線圈的阻抗信息，進(jìn)而實現(xiàn)位移測量。

差分原理：差分測量系統(tǒng)是精密測量技術(shù)的重大進(jìn)步。 它們提供出色的分辨率、可重復(fù)性和歸零精度，用于檢測導(dǎo)電目標(biāo)相對于一對非接觸式傳感器的對齊/居中位置。對于差分測量應(yīng)用，每個通道有兩個精確匹配的傳感器位于目標(biāo)的相對兩側(cè)或兩端。在這種傳感器到目標(biāo)的關(guān)系中，當(dāng)目標(biāo)遠(yuǎn)離一個傳感器時，它向另一個傳感器移動等量。輸出為差分和雙極。同一電橋的相對腿上的電子匹配傳感器提供了的熱穩(wěn)定性。

相位解調(diào)法：傳感器能達(dá)到超高分辨率的原因是使用了相位解調(diào)法。常用的解調(diào)電路中使用較多運放，不可避免的引入很多系統(tǒng)噪聲。而相位解調(diào)法具有超高的靈敏度，不需要高增益的運放即可達(dá)到理想的輸出范圍。