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簡介
SR系列薄膜分析產品來自美國AST公司，其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數也可以實現測量，為人們針對薄膜進行分析提供了便利。
產品詳情
| 基本功能 | 1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數 |
| 產品特點 | 強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫； |
| 系統配置 | 型號：SR500R |
規格參數
| 波長范圍：250nm到1700 nm 光斑尺寸：500μm至5mm 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm 基板尺寸：可至50毫米厚 測量厚度范圍*：2nm～150μm 測量時間：zui快2毫秒 精度*：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較） 重復性誤差*：小于1 ? | |
| 可選配件項 | 用于傳遞和吸收測量的傳動夾具（SR500RT) ) |
應用系統
主要應用于透光薄膜分析類領域：
1 玻璃鍍膜領域（LowE、太陽能…）
2 半導體制造（PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap...）
4 醫學，生物薄膜及材料領域等
5 油墨，礦物學，顏料，調色劑等
6 醫藥，中間設備
7 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半導體化合物
9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜
l0 非晶體，nm材料和結晶硅
