硒化爐
型號:RG-3-8
詳細描述
一、此設備主要用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽能電池的硒化反應處理。
CIGS薄膜太陽能電池首先用磁控濺射制備出銅銦鎵(CIG)薄膜預制層,然后在此設備中用固態硒源實現硒化處理,從而反應生成CIGS薄膜太陽能吸收層。
二、設備特點:
1、過濾器采用德國萊寶公司結構制作,吸附力強,便于取出清理和更換濾芯。
2、我公司采用的氦質譜真空檢漏儀進行壓升率檢測,可保證技術指標的可信和準確,壓升率指標接近或低于國標的小值。
三、主要技術參數
1、額定功率:3 Kw±10%
2、額定溫度:A區230 ℃、B區800 ℃
3、冷態極限真空度:6.67×10-3 Pa(在100℃溫度以下允許抽真空)
4、壓升率:2.0 Pa/h
5、工作區尺寸:Φ100×600 mm(直徑×長)
6、控溫區數:3區
7、保護氣氛:氬氣
9、充氣壓力:≤500 Pa
10、電源:三相 380V 50Hz